上海烫钻真空镀膜机厂商

时间:2024年10月05日 来源:

提升了清理效率。附图说明图1为本实用新型结构示意图。图2为本实用新型的结构示意俯视图。图中:1控制箱、2前罐体、3后罐体、4清理装置、41通孔、42喷头、43刮板、44u形架、5驱动装置、51半圆槽、52半圆板、53转轴通孔、54减速电机、55防护罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1、图2,本实用新型提供一种技术方案:一种磁控溅射真空镀膜机,包括控制箱1,控制箱1的上表面后侧固定安装后罐体3,后罐体3的前表面铰接有前罐体2,后罐体3的前表面上侧固定安装有驱动装置5,驱动装置5,驱动装置5的下侧安装有清理装置4,清理装置4包括u形架44,u形架44的下端通过轴承转动安装在后罐体3的内部下侧,u形架44的外侧固定安装有刮板43,刮板43的外侧与后罐体3、前罐体2的内表面紧密贴合,后罐体3和前罐体2的上表面外侧均匀开设有通孔41。品质汽车部件真空镀膜机,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以来咨询考察!上海烫钻真空镀膜机厂商

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避免工艺污染,提供工艺质量。由于设置双腔室,作为工艺反应区的内反应腔20相对较小,因此可以有效减少工艺原料的浪费,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同时,由于工艺反应区的减少,可以有效控制该区域内的温度,使该区域内的工艺温度更易于均匀化,进而提高工艺质量。需要说明的是,内反应腔20位于外腔体10内,但内反应腔20和外腔体10处于可连通状态,并非完全隔绝,当对外腔体10进行抽真空处理时,内反应腔20内也同时进行抽真空操作。外腔体10和内反应腔20处于相互连通的状态,只是在外腔体10内划分出了一个立体空间以进行工艺反应。本实施方式中,参照图2,所述外腔体10包括宝来利真空底板11和沿所述宝来利真空底板11周向设置的宝来利真空侧壁12;所述内反应腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向设置的第二侧壁22;所述宝来利真空底板11与所述第二底板21相互分离设置,所述宝来利真空侧壁12与所述第二侧壁22相互分离设置;宝来利真空侧壁12与盖设于所述宝来利真空侧壁12上的密封盖板30密闭连接,所述第二侧壁22与所述密封盖板30相互分离设置。该结构中,相当于用第二底板21和第二侧壁22在外腔体10中分割出一个更小的空间。

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通过上述说明可知,温控管40的设置形式多种多样,本实用新型并不限制温控管40的具体设置形式,例如可以按照上述温控管40缠绕并固定的形式,也可以按照在第二侧壁22或第二底板21上安装水套或设通道的形式,只要求保证使用时温控管40可耐压耐温不出现渗漏或漏电现象即可。另一方面,本实用新型一种实施方式的真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和实施例一的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔20内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体10内。该真空镀膜设备包括本实用新型的真空反应腔室,因此,该真空镀膜设备具有上述真空反应腔室的全部***,在此不再赘述。其中,设置于外腔体10内的部分机械模块部件为与工艺反应无关的一些传动机械部件、升降机械部件等等,另一部与工艺反应相关的机械部件,如镀膜靶材的转动部件等等则设置于内反应腔20中。具体的,可以根据真空镀膜设备的具体结构而定。该真空镀膜设备中,由于真空反应腔室设计成内外腔结构,同时,通过设置温控装置,可以有效地保证工艺环境封闭、恒温、外部污染源少,为工艺反应提供了更为稳定、纯净的环境。通过实际实验证明,反应区域温度环境更均匀。品质真空镀膜机工艺成熟,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以来咨询考察!防紫外线真空镀膜机厂家

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电磁铁122顶出磁片223,顶盖22离开出气管11口,空气及粉尘从出气管11排出,当顶盖22的动触点224与静触点123接触时,气缸53通电,伸出伸缩轴,利用空气压力将挤压管52中的水喷出,粉尘遇水沉降落入沉降管51底部,镀膜机1内达到相应的真空度时,反方向按下开关13,电磁铁122在换向器的作用下电流改变,磁极改变,产生与磁片223相反的磁极,电磁铁122与磁片223相吸,此时真空泵4断电,动、静触点断开,气缸53断电,顶盖22紧紧地盖在出气管11口上。上述实施例中,开关13为双向开关,往一方向按下时,真空泵4与电磁铁122均通电,往另一方向按下时,真空泵4断电,电磁铁122在换向器的作用下电流方向发生改变,产生相反的磁极。在进一步的实施例中,结合图2可得,宝来利真空连接套12远离镀膜机1一侧设有宝来利真空安装位121;宝来利真空安装位121位于出气管11两侧;宝来利真空安装位121内固定有电磁铁122;顶盖22靠近镀膜机1一侧设有第二安装位222;第二安装位222与宝来利真空安装位121位置相对应;第二安装位222内固定有磁片223;电磁铁122与磁片223分别通过胶水固定在宝来利真空安装位121以及第二安装位222中;利用磁铁“同极相斥、异极相吸”的原理,控制顶盖22的关闭和打开。上海烫钻真空镀膜机厂商

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