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时间:2024年10月09日 来源:

避免工艺污染,提供工艺质量。由于设置双腔室,作为工艺反应区的内反应腔20相对较小,因此可以有效减少工艺原料的浪费,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同时,由于工艺反应区的减少,可以有效控制该区域内的温度,使该区域内的工艺温度更易于均匀化,进而提高工艺质量。需要说明的是,内反应腔20位于外腔体10内,但内反应腔20和外腔体10处于可连通状态,并非完全隔绝,当对外腔体10进行抽真空处理时,内反应腔20内也同时进行抽真空操作。外腔体10和内反应腔20处于相互连通的状态,只是在外腔体10内划分出了一个立体空间以进行工艺反应。本实施方式中,参照图2,所述外腔体10包括宝来利真空底板11和沿所述宝来利真空底板11周向设置的宝来利真空侧壁12;所述内反应腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向设置的第二侧壁22;所述宝来利真空底板11与所述第二底板21相互分离设置,所述宝来利真空侧壁12与所述第二侧壁22相互分离设置;宝来利真空侧壁12与盖设于所述宝来利真空侧壁12上的密封盖板30密闭连接,所述第二侧壁22与所述密封盖板30相互分离设置。该结构中,相当于用第二底板21和第二侧壁22在外腔体10中分割出一个更小的空间。品质真空镀膜机温度低,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以来咨询考察!江苏AR真空镀膜机供应商家

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还可以根据这些附图获得其他附图:图1为本实施例中一种真空镀膜设备的主视示意图;图2为本实施例中图1中a处的放大示意图;图3为本实施例中图1中b处的放大示意图;图4为本实施例中顶盖的结构示意图。具体实施方式为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和***更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的部分实施例,而不是全部实施例。基于本实用新型的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型的保护范围。本实用新型较佳实施例的如图1和图2所示,构造一种真空镀膜设备,包括镀膜机1;镀膜机1底部设有出气管11;出气管11上设有宝来利真空连接套12;宝来利真空连接套12上设有第二连接套2;第二连接套2中设有顶盖22,顶盖22与宝来利真空连接套12之间通过磁吸连接;第二连接套2远离镀膜机1一侧设有抽气管3;抽气管3远离第二连接套2一侧设有真空泵4;抽气管3内靠近真空泵4一侧设有宝来利真空过滤网41;抽气管3远离镀膜机1一侧设有沉降组件;在抽真空时,按下开关13,启动真空泵4,电磁铁122通电产生与磁片223相同的磁性,利用磁铁的原理。护目镜真空镀膜机厂家直销品质电子半导体真空镀膜机,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以来咨询考察!

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本实用新型涉及真空镀膜领域,更具体地说,涉及一种真空镀膜设备。背景技术:真空镀膜机要求在真空环境下进行镀膜,在镀膜室进行蒸镀后,镀膜室中残留的部分未蒸馏到薄膜上的蒸汽遇冷会形成粉尘,而粉尘在别真空泵抽走后,会堵塞真空泵,影响真空泵的使用以及容易损坏真空泵。现有的真空镀膜机,在除粉尘时,多利用负压作用将出气口上的顶盖打开,并利用弹簧的弹力盖紧顶盖,但在打开时需要较大的压力才能顶出顶盖,而真空镀膜设备通过弹簧盖紧顶盖,容易出现盖不紧的情况,导致镀膜机内真空度不够,影响镀膜的过程。技术实现要素:本实用新型要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种密封性良好且能够除尘的真空镀膜设备。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种真空镀膜设备,包括镀膜机;所述镀膜机底部设有出气管;所述出气管上设有宝来利真空连接套;所述宝来利真空连接套上设有第二连接套;所述第二连接套中设有顶盖,所述顶盖与所述宝来利真空连接套之间通过磁吸连接;所述第二连接套远离所述镀膜机一侧设有抽气管;所述抽气管远离所述第二连接套一侧设有真空泵;所述抽气管内靠近所述真空泵一侧设有宝来利真空过滤网。

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进一步地,所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道,所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***:本实用新型提供的真空反应腔室,包括用于提供真空环境的外腔体,以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔;并且,内反应腔的侧壁上设有自动门,工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中,外腔室和内反应腔为嵌套结构,其内反应腔位于外腔室内。该结构中,相当于设置了两个腔室,其中外腔体用于提供真空环境,而工艺反应则在内反应腔中进行。由于采用双腔室结构,可以将工艺模块部件设置于内反应腔中,而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后,位于外腔体中的工件再经自动门进入内反应腔中进行工艺反应,可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域,避免工艺污染,提供工艺质量。由于设置双腔室,作为工艺反应区的内反应腔相对较小。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,多层复合膜,有需要可以咨询!眼镜架真空镀膜机制造商

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通孔41从上至下向外倾斜,通孔41的内部固定安装有喷头42。铰接的前罐体2和后罐体3方便开合,驱动装置5能带动清理装置4中的u形架44、刮板43转动,使刮板43剐蹭后罐体3、前罐体2的内表面,从上至下向外倾斜通孔41能够与喷头42配合,将清洗液喷洒在后罐体3、前罐体2的内表面。驱动装置5包括半圆板52,前罐体2的前表面上侧开设有与半圆板52匹配的半圆槽51,半圆板52的上表面开设有转轴通孔53,半圆板52的上表面固定安装有防护罩55和减速电机54,防护罩55罩接在减速电机54的外侧,减速电机54的输出轴转动安装在转轴通孔53的内部,减速电机54输出轴的下端与u形架44固定装配。驱动装置5中的半圆板52起支撑作用,与半圆槽51配合不妨碍后罐体3和前罐体2的盖合,减速电机54能够带动u形架44、刮板43在后罐体3和前罐体2的内部转动,防护罩55能够保护内部的减速电机54,起防尘、保护作用。前罐体2的下表面后侧安装有集料盒7,集料盒7包括出料口71,出料口71的下侧固定安装有外螺管72,外螺管72的外侧螺接有收集盒73。集料盒7能够通过出料口71、外螺管72、收集盒73,方便收集并清理清理装置4剐蹭下来的碎屑。控制箱1的内部左侧固定安装有清洗箱8和泵6,清洗箱8固定安装在泵6的右侧。江苏AR真空镀膜机供应商家

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