上海水钻真空镀膜设备怎么用

时间:2024年10月18日 来源:

并且腔体1的正面转动连接有密封门5,腔体1内壁两侧之间的底部固定连接有支撑板6,并且支撑板6的顶部固定连接有防护框7,防护框7内壁的两侧均固定连接有宝来利真空滑轨8,并且两个宝来利真空滑轨8相对的一侧之间滑动连接有活动板9,活动板9的顶部固定连接有加热板14,防护框7内壁的底部且位于宝来利真空伸缩杆10的表面固定连接有降温板15,腔体1内壁的底部固定连接有宝来利真空伸缩杆10,宝来利真空伸缩杆10和第二伸缩杆11均通过导线与控制开关及外部电源连接,宝来利真空伸缩杆10的顶端贯穿支撑板6和防护框7并延伸至防护框7的内部,宝来利真空伸缩杆10输出轴的一端且位于防护框7的内部与活动板9的底部固定连接,腔体1内壁的两侧均固定连接有第二伸缩杆11,防护框7顶部的两侧分别滑动连接有宝来利真空密封盖12和第二密封盖13,宝来利真空密封盖12和第二密封盖13相对的一侧设置有相适配的卡接结构,能够加强其密封性,并且宝来利真空密封盖12和第二密封盖13相背离的一侧分别与两个第二伸缩杆11的输出轴固定连接。使用时,打开密封门5,通过外部控制面板打开电机16,使双向螺纹杆17发生转动,带动两个活动块18和限位板19发生运动,使限位板19之间的距离与待镀膜的基板2相适配。 宝来利智能手机真空镀膜设备性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!上海水钻真空镀膜设备怎么用

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还可以根据这些附图获得其他附图:图1为本实施例中一种真空镀膜设备的主视示意图;图2为本实施例中图1中a处的放大示意图;图3为本实施例中图1中b处的放大示意图;图4为本实施例中顶盖的结构示意图。具体实施方式为了使本实用新型实施例的目的、技术方案和***更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的部分实施例,而不是全部实施例。基于本实用新型的实施例,本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型的保护范围。本实用新型较佳实施例的如图1和图2所示,构造一种真空镀膜设备,包括镀膜机1;镀膜机1底部设有出气管11;出气管11上设有宝来利真空连接套12;宝来利真空连接套12上设有第二连接套2;第二连接套2中设有顶盖22,顶盖22与宝来利真空连接套12之间通过磁吸连接;第二连接套2远离镀膜机1一侧设有抽气管3;抽气管3远离第二连接套2一侧设有真空泵4;抽气管3内靠近真空泵4一侧设有宝来利真空过滤网41;抽气管3远离镀膜机1一侧设有沉降组件;在抽真空时,按下开关13,启动真空泵4,电磁铁122通电产生与磁片223相同的磁性,利用磁铁的原理。

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真空镀膜设备在操作过程中,膜层不均匀的可能原因主要包括靶材与基片的距离不当、磁场设计不均匀以及乙炔引入不均匀等。具体内容如下:距离问题:靶材与待镀基片之间的距离若未优化,会影响溅射的均匀性。磁场设计问题:磁控溅射的均匀性在很大程度上依赖于磁场的设计,如果磁场分布和强度不均,则会导致膜层均匀度不佳。气体引入问题:如乙炔在反应溅射过程中引入不均,也会导致沉积膜层的质量在基片上存在差异。为了解决这些问题,可以考虑以下方案:调整靶材与基片间的距离:确保两者间距离适宜,以便改善溅射的均匀性。优化磁场设计:通过改善和优化磁场的分布及强度,提高靶材表面离子轰击的均匀性,进而提升膜层均匀度。旋转基片或靶材:在溅射过程中,改变它们的相对位置和角度,使得材料能够更均匀地分布在基片上。宝来利活塞气缸真空镀膜设备性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!上海ITO真空镀膜设备制造商

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