2350真空镀膜机生产厂家

真空镀膜设备在操作过程中，膜层不均匀的可能原因主要包括靶材与基片的距离不当、磁场设计不均匀以及乙炔引入不均匀等。具体内容如下：距离问题：靶材与待镀基片之间的距离若未优化，会影响溅射的均匀性。磁场设计问题：磁控溅射的均匀性在很大程度上依赖于磁场的设计，如果磁场分布和强度不均，则会导致膜层均匀度不佳。气体引入问题：如乙炔在反应溅射过程中引入不均，也会导致沉积膜层的质量在基片上存在差异。为了解决这些问题，可以考虑以下方案：调整靶材与基片间的距离：确保两者间距离适宜，以便改善溅射的均匀性。优化磁场设计：通过改善和优化磁场的分布及强度，提高靶材表面离子轰击的均匀性，进而提升膜层均匀度。旋转基片或靶材：在溅射过程中，改变它们的相对位置和角度，使得材料能够更均匀地分布在基片上。宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，镀膜高效，有需要可以咨询！2350真空镀膜机生产厂家

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所述u形架的下端通过轴承转动安装在后罐体的内部下侧，所述u形架的外侧固定安装有刮板，所述刮板的外侧与后罐体、前罐体的内表面紧密贴合，所述后罐体和前罐体的上表面外侧均匀开设有通孔，所述通孔从上至下向外倾斜，所述通孔的内部固定安装有喷头。推荐的，所述驱动装置包括半圆板，所述前罐体的前表面上侧开设有与半圆板匹配的半圆槽，所述半圆板的上表面开设有转轴通孔，所述半圆板的上表面固定安装有防护罩和减速电机，所述防护罩罩接在减速电机的外侧，所述减速电机的输出轴转动安装在转轴通孔的内部，所述减速电机输出轴的下端与u形架固定装配。推荐的，所述前罐体的下表面后侧安装有集料盒，所述集料盒包括出料口，所述出料口的下侧固定安装有外螺管，所述外螺管的外侧螺接有收集盒。推荐的，所述控制箱的内部左侧固定安装有清洗箱和泵，所述清洗箱固定安装在泵的右侧，所述泵通过软管与喷头固定装配。推荐的，所述控制箱、减速电机、泵通过导线电连接，且控制箱与外部电源连接。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该磁控溅射真空镀膜机，能够通过清理装置与驱动装置的配合，对镀膜机腔体内壁粘黏的靶材和杂质进行自动刮除清理，不需人力手动擦拭。

避免工艺污染，提供工艺质量。由于设置双腔室，作为工艺反应区的内反应腔20相对较小，因此可以有效减少工艺原料的浪费，降低原料的使用成本，提高原料的利用率。同时，由于工艺反应区的减少，可以有效控制该区域内的温度，使该区域内的工艺温度更易于均匀化，进而提高工艺质量。需要说明的是，内反应腔20位于外腔体10内，但内反应腔20和外腔体10处于可连通状态，并非完全隔绝，当对外腔体10进行抽真空处理时，内反应腔20内也同时进行抽真空操作。外腔体10和内反应腔20处于相互连通的状态，只是在外腔体10内划分出了一个立体空间以进行工艺反应。本实施方式中，参照图2，所述外腔体10包括宝来利真空底板11和沿所述宝来利真空底板11周向设置的宝来利真空侧壁12；所述内反应腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向设置的第二侧壁22；所述宝来利真空底板11与所述第二底板21相互分离设置，所述宝来利真空侧壁12与所述第二侧壁22相互分离设置；宝来利真空侧壁12与盖设于所述宝来利真空侧壁12上的密封盖板30密闭连接，所述第二侧壁22与所述密封盖板30相互分离设置。该结构中，相当于用第二底板21和第二侧壁22在外腔体10中分割出一个更小的空间。宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，眼镜镜架镀膜，有需要可以咨询！

进一步地，所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道，所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备，包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室，所述工艺模块部件位于所述内反应腔内，部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***：本实用新型提供的真空反应腔室，包括用于提供真空环境的外腔体，以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔；并且，内反应腔的侧壁上设有自动门，工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中，外腔室和内反应腔为嵌套结构，其内反应腔位于外腔室内。该结构中，相当于设置了两个腔室，其中外腔体用于提供真空环境，而工艺反应则在内反应腔中进行。由于采用双腔室结构，可以将工艺模块部件设置于内反应腔中，而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后，位于外腔体中的工件再经自动门进入内反应腔中进行工艺反应，可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域，避免工艺污染，提供工艺质量。由于设置双腔室，作为工艺反应区的内反应腔相对较小。宝来利真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，光亮、美观，有需要可以咨询！2350真空镀膜机生产厂家

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电磁铁122顶出磁片223，顶盖22离开出气管11口，空气及粉尘从出气管11排出，当顶盖22的动触点224与静触点123接触时，气缸53通电，伸出伸缩轴，利用空气压力将挤压管52中的水喷出，粉尘遇水沉降落入沉降管51底部，镀膜机1内达到相应的真空度时，反方向按下开关13，电磁铁122在换向器的作用下电流改变，磁极改变，产生与磁片223相反的磁极，电磁铁122与磁片223相吸，此时真空泵4断电，动、静触点断开，气缸53断电，顶盖22紧紧地盖在出气管11口上。上述实施例中，开关13为双向开关，往一方向按下时，真空泵4与电磁铁122均通电，往另一方向按下时，真空泵4断电，电磁铁122在换向器的作用下电流方向发生改变，产生相反的磁极。在进一步的实施例中，结合图2可得，宝来利真空连接套12远离镀膜机1一侧设有宝来利真空安装位121；宝来利真空安装位121位于出气管11两侧；宝来利真空安装位121内固定有电磁铁122；顶盖22靠近镀膜机1一侧设有第二安装位222；第二安装位222与宝来利真空安装位121位置相对应；第二安装位222内固定有磁片223；电磁铁122与磁片223分别通过胶水固定在宝来利真空安装位121以及第二安装位222中；利用磁铁“同极相斥、异极相吸”的原理，控制顶盖22的关闭和打开。2350真空镀膜机生产厂家