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本实用新型涉及真空设备领域,尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术:目前,真空设备,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等离子体增强化学气相沉积)和pvd(physicalvaporde****ition,物宝来利相沉积)设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中,如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室,传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内,这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭,容易造成工艺环境污染。另外,设置单个反应腔室时,由于工艺反应区域较大,容易造成工艺所需原料的浪费,同时,还会造成工艺反应过程中温度波动大,不可控因素较多,从而影响工艺过程。技术实现要素:本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室,以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:一种真空反应腔室,包括:用于提供真空环境的外腔体。宝来利门把手真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询考察!江苏2350真空镀膜机厂家直销
高真空多层精密光学真空镀膜设备一般应用在哪些方面呢?高真空多层精密光学真空镀膜设备是一种在高真空环境下,利用物理或化学方法将薄膜材料沉积到光学元件表面的设备。这种技术应用于制造各类光学薄膜,如抗反射膜、偏振膜、分光膜等,对提高光学系统的性能至关重要。应用范围,包括数码相机镜头、眼镜镜片、精密测量仪器、激光设备、太阳能电池以及航空航天领域的光学传感器等。通过精确控制镀膜的厚度和折射率,可以设计出具有特定光学性质的薄膜,以满足不同场合的需求。高真空多层精密光学真空镀膜机一般应用在哪些方面呢?高真空多层精密光学真空镀膜机是一种在高真空环境下,利用物理或化学方法将薄膜材料沉积到光学元件表面的设备。这种技术应用于制造各类光学薄膜,如抗反射膜、偏振膜、分光膜等,对提高光学系统的性能至关重要。应用范围,包括数码相机镜头、眼镜镜片、精密测量仪器、激光设备、太阳能电池以及航空航天领域的光学传感器等。通过精确控制镀膜的厚度和折射率,可以设计出具有特定光学性质的薄膜,以满足不同场合的需求。上海防蓝光真空镀膜机推荐货源宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,眼镜镜架镀膜,有需要可以咨询!
以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12、第二底板21和第二侧壁22均可由金属材料组成,其中,第二底板21和第二侧壁22则优先选用热传导效果较好的金属材料组成,例如可选不锈钢或铝合金等材料。除上述结构形式外,外腔体10和内反应腔20还可以共用一个底板,真空镀膜设备用一圈隔离板对外腔体10进行分割即可。但为了将内反应腔20的空间尽可能地缩小到所需范围,且真空镀膜设备大限度地降低非必要的空间,该实施方式中设置了宝来利真空底板11和第二底板21相互分离的设置结构,以在垂直方向上缩小内反应腔20的空间。其中,宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12和密封盖板30三者相互密闭连接共同构成了与外部大气隔离的具有封闭结构的外腔体10。而内反应腔20则位于该外腔体10之内,但是第二侧壁22与密封盖板30之间并未形成封闭式接触,两者之间属于分离式设计结构。该结构也就使得外腔体10与内反应腔20之间在仍属于相互连通的结构构造,用该结构可以将真空设备中的部分构件分离,将工艺过程中非必要的机械结构部件设置于外腔体10中,而与工艺反应相关的结构部件设置于内反应腔20中。在工艺反应过程中,由于工艺反应区的压力要大于外腔体10中的压力。
对膜层质量及均匀性的改善均有很大的帮助。需要说明的是,在本文中,诸如“宝来利真空”和“第二”等之类的关系术语真空镀膜设备真空镀膜设备用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不真空镀膜设备包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。以上所述真空镀膜设备是本实用新型的具体实施方式,使本领域技术人员能够理解或实现本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所实用新型的原理和新颖特点相一致的真空镀膜设备宽的范围。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,酒店用品镀膜,有需要可以咨询!
以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔;所述内反应腔的侧壁上设有自动门,所述自动门连接自动门控制器,工件自所述外腔体经所述自动门进入所述内反应腔中。进一步地,所述外腔体包括宝来利真空底板和沿所述宝来利真空底板周向设置的宝来利真空侧壁;所述内反应腔包括第二底板和沿所述第二底板周向设置的第二侧壁;所述宝来利真空底板与所述第二底板相互分离设置,所述宝来利真空侧壁与所述第二侧壁相互分离设置;所述宝来利真空侧壁与盖设于所述宝来利真空侧壁上的密封盖板密闭连接,所述第二侧壁与所述密封盖板相互分离设置。进一步地,所述自动门设置于所述第二侧壁上,所述外腔体内设有传送装置,所述工件自所述传送装置经所述自动门传递至所述内反应腔中。进一步地,所述第二底板和/或所述第二侧壁上设有用于对所述内反应腔进行控温的温控装置。进一步地,所述温控装置包括温控管,所述温控管连接位于外腔体外的恒温控制器。进一步地,所述温控管包括加热管和/或冷却管。进一步地,所述加热管包括电加热管、水加热管或油加热管;所述冷却管包括水冷却管或油冷却管。进一步地,所述温控管缠绕于所述第二侧壁的外部,且所述温控管铺设于所述第二底板的底部。宝来利半导体真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,细腻有光泽,有需要可以来咨询!手表真空镀膜机厂家
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并且腔体1的正面转动连接有密封门5,腔体1内壁两侧之间的底部固定连接有支撑板6,并且支撑板6的顶部固定连接有防护框7,防护框7内壁的两侧均固定连接有宝来利真空滑轨8,并且两个宝来利真空滑轨8相对的一侧之间滑动连接有活动板9,活动板9的顶部固定连接有加热板14,防护框7内壁的底部且位于宝来利真空伸缩杆10的表面固定连接有降温板15,腔体1内壁的底部固定连接有宝来利真空伸缩杆10,宝来利真空伸缩杆10和第二伸缩杆11均通过导线与控制开关及外部电源连接,宝来利真空伸缩杆10的顶端贯穿支撑板6和防护框7并延伸至防护框7的内部,宝来利真空伸缩杆10输出轴的一端且位于防护框7的内部与活动板9的底部固定连接,腔体1内壁的两侧均固定连接有第二伸缩杆11,防护框7顶部的两侧分别滑动连接有宝来利真空密封盖12和第二密封盖13,宝来利真空密封盖12和第二密封盖13相对的一侧设置有相适配的卡接结构,能够加强其密封性,并且宝来利真空密封盖12和第二密封盖13相背离的一侧分别与两个第二伸缩杆11的输出轴固定连接。使用时,打开密封门5,通过外部控制面板打开电机16,使双向螺纹杆17发生转动,带动两个活动块18和限位板19发生运动,使限位板19之间的距离与待镀膜的基板2相适配。江苏2350真空镀膜机厂家直销
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