江苏静电无尘室检测

时间:2024年11月29日 来源:

2.4.1洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构,并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。12.4.2洁净厂房应对净化空调、供热、供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。12.4.3洁净室(区)内外的压差监测,宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室(区)的送风量或回风量。12.4.4净化空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风、超温断电保护;当采用电加湿器时,应设置无水、无风断电保护。12.4.5在满足生产工艺要求的前提下,宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。无尘室极主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度。江苏静电无尘室检测

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E.1.1风量风速检测必须首先进行,净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。E.1.2风量检测前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,有无障碍,所有阀门应固定在一定的开启位置上,且必须实际测量被测风口、风管尺寸。E.1.3测定室内微风速仪器的小刻度或读数不应大于0.02m/s,一般可用热球式风速仪,需要测出分速度时,应采用超声波三维风速计。E.1.4对于单向流洁净室,可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,垂直单向流洁净室的测定截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面,如有阻隔面,该测定截面应抬高至阻隔面之上 0.25m;水平单向流洁净室取距送风面 0.5m 的垂直于地面的截面,截面上测点间距不应大于1m,一般取 0.3m。测点数应不少于 20 个,均匀布置。E.1.5对于非单向流洁净室,内安装过滤器的风口可采用套管法、风量罩法或风管法测定风量,为测定回风口或新风口风量,也可用风口法。安徽无尘室检测公司洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产。

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3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质,同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。3.1.2生产环境设计应根据产品品种及生产工艺要求,对电子产品生产过程需用的包括化学品、常用气体和特种气体、纯水等各种介质的质量进行控制。3.1.3洁净室(区)内产品生产过程所使用的工具、器具和物料储运装置,其制作的材质和清洁方式应按生产工艺要求选择。3.1.1电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质,同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。3.1.2生产环境设计应根据产品品种及生产工艺要求,对电子产品生产过程需用的包括化学品、常用气体和特种气体、纯水等各种介质的质量进行控制。3.1.3洁净室(区)内产品生产过程所使用的工具、器具和物料储运装置,其制作的材质和清洁方式应按生产工艺要求选择。

10.1.1洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气,其气体品质应满足生产工艺要求。10.1.2常用气体的供气方式和供气系统,应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素,经技术经济比较后确定。10.1.3洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统,除应符合本规范外,还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB50177和《氧气站设计规范》GB50030等的有关规定。10.1.4洁净厂房内的气体管道的干管,应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时,比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部,比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子浓度限值进行划分的等级标准。

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11.5.1工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。11.5.2工艺设备安装时,现场的净化空调系统应已连续运行24h以上;现场除正常照明外,应配备三相380V、单相220V和低压行灯电源。11.5.3任何用于大设备的提升、牵引或定位的**设备在进人洁净室安装现场前,应彻底清洁,并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进入洁净环境的材料。11.5.4设备安装时应妥善保护墙壁与地面,设备的软胶轮应予包裹,避免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置穿越不同洁净级别区域时,穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封,并应装饰处理。因此无尘室的洁净度要求尤为严格。北京洁净工作台无尘室检测分析

室内空气的流动形态和分布。江苏静电无尘室检测

6.3.1管道安装前应进行以下准备工作:1配管下料时应采用“等离子切割”或**切割锯、割管刀等工具,不应采用氧-乙炔焰切割,不得涂抹油脂或润滑剂。2管道切口应与管轴线垂直,切口表面应平整、无裂纹,应去除毛刺。3在主管道上连接支管或部件时,宜用成品连接件。4普通不锈钢管应在工厂的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水冲洗干净。5氧气管道及附件,安装前应按相关规定方法进行脱脂,脱脂应在远离洁净室的地点进行,并做好操作人员的安全与环境保护工作。江苏静电无尘室检测

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