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洁净厂房中生产区、辅助区和各类生产设备的布置与洁净室(区)内的气流流型、空气洁净度等级的保持密切相关,所以本规范规定:在洁净室(区)内要求空气洁净度严格的工序(设备)应远离出人口和可能干扰气流的场所设置,并宜布置在上风侧;空气洁净度等级要求相同的工序或工作室相对集中布置等都是电子产品洁净室(区)内布置的基本要求。另外,由于电子产品更新换代快,电子工厂在实际生产中,在线维修及调试、边生产边增加设备扩大生产能力的情况很多,因此在做工艺布局时,应根据具体情况,考虑这些因素,留出相应的运作空间。为避免不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间的频繁联系发生交叉污染,应根据电子产品生产工艺要求合理选择相应技术措施,如人的联系应采用气闸室或空气吹淋室;大物件的运送也可以采用气闸室,一般物件的运送可采用传递窗;穿越隔墙的管线应采用可靠气密措施等。空气过滤器安装方式应严密、简便、可靠,易于检漏和更换。江苏风速洁净室检测服务商
12.4.1洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构,并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。12.4.2洁净厂房应对净化空调、供热、供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。12.4.3洁净室(区)内外的压差监测,宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室(区)的送风量或回风量。12.4.4净化空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风、超温断电保护;当采用电加湿器时,应设置无水、无风断电保护。12.4.5在满足生产工艺要求的前提下,宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。江苏无尘室3Q验证洁净室检测值得推荐中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。
D.3.10自净时间检测,应符合下列规定:1自净时间的检测,宜用于非单向流洁净室。2自净时间的检测,宜采用大气尘或烟雾发生器等人工尘源为基准,并宜以粒子计数器进行检测,同时应符合下列要求.1)以大气尘为基准时,则必须将洁净室停止运行相当时间,在室内含尘浓度已接近于大气浓度时,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,定时读数(一般可设置每间隔6s读数一次),直到回风口处的含尘浓度回复到原来的稳定状态,记录下所需的时间(t)。2)以人工尘源为基准时,应将烟雾发生器放置在离地面1.8m以上室中心,发烟1~2min后停止,等待1min,测出洁净室内靠近回风口处的含尘浓度(N。)。然后开机,方法同上。3由初始浓度(No)、室内达到稳定的浓度(N)、实际换气次数(n),可得到计算自净时间(to),与实测自净时间(t)进行对比,如果t≤12to,为合格。4自净时间检测方法除上述方法外,还有微粒浓度变化率评估法等。自净时间检测方法应洽商确定。
1)单层洁净室,在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层,上技术夹层内设置空气过滤装置、风管和公用动力管线;下技术夹层为回风道。这种形式适用于规模较小的洁净室。2)多层洁净室,在单向流洁净生产区吊顶格栅以上设有送风静压箱或循环空气处理设备或空气过滤单元机组等的上技术层;在单向流洁净生产区的活动地板以下设有回风静压箱或辅助生产设备或公用动力设备、管线等的下技术层。有的电子工业洁净厂房的下技术层根据需要可为一层或二层。不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa。
15.3.2有微振动控制要求的洁净室(区),其建筑结构的微振动控制设计,应符合下列规定:1建筑物基础宜置于动力性能良好的地基土上,且基础应有足够刚度;2应设置**的建筑结构微振动控制体系,并应与厂房主体结构分隔;3主体结构应根据微振动控制的要求,适当加大梁、柱、墙、基础等截面尺寸。15.3.3有强烈振动的设备和管道,宜采取主动隔振措施,并应符合下列要求.1宜采用隔振台(座);2应选用刚度适当的隔振器,3通往洁净室(区)的管道,宜采取隔振支(吊)架、柔性连接等隔振措施。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室。浙江无尘室3Q验证洁净室检测规范性强
无菌操作间应根据检验品种的需要,保持对邻室的相对正压或相对负压,以防止外界污染空气的流入。江苏风速洁净室检测服务商
C.1.1检测目的检测的目的是确认过滤系统安装正确,使用过程中无渗漏发生,不要将已装过滤器系统的检漏与过滤器出厂时的效率检测混为一谈,过滤器出厂前应经过检漏雨测试。此项检测用于验证过滤系统不存在影响设施洁净状况的渗漏;确认过滤系统下风向空气中悬浮粒子的浓度足够满足洁净室设计洁净度。C.1.2检测过程检测中,在过滤器的上风向注入气溶胶,在下风向紧靠过滤器的安装框架的地方扫描,或在风管中的过滤器下风向采样。检漏包括滤材、过滤器边框、密封垫和支撑架在内的整个过滤系统。已装过滤系统的检漏只在“空态”或“静态”下进行,且该项检测是在新建洁净室调试时,或现有设施需要再检测时,或更换了末端过滤器之后进行。江苏风速洁净室检测服务商
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