安徽移动式检漏仪原理

检漏仪怎么给热管散热器检漏？ 1.启动检漏仪，装上夹具；2.将热管插入夹具，并用真空封泥封堵；3.按下检漏仪的开始按键，开始抽真空；4.在产品周围喷氦气，以 E-8 mbarl/s 为合格线。检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的检漏仪器。检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声明显减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。安徽移动式检漏仪原理

检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说，质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。真空氦气检漏仪厂家检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。

检漏仪的基本原理与结构：检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。离子检测器的作用是手机质量分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率，真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被普遍采用，已成为市场的主流产品。

检漏仪可以用于镀膜设备的检漏。镀膜设备氨质谱检漏，1.将氨质检漏仪启动完成，再将检漏仪内部的检漏方式，设置为“停止不放气”。2.按‘停止’键，使检漏仪处在“待机”状态。3.将检漏仪检漏口和真空炉或镀膜机通过波纹管连接，可在波纹管一端加高真空手动挡板阀。4.开启真空炉或镀膜机的本身抽空系统，再打开连接检漏仪的高真空手动挡板阀。待真空炉或镀膜机内的真空度抽到200Pa以下，真空度相对稳定后。5.按下检漏仪的‘开始’键，让检漏仪进入检漏状态。6.待检漏仪显示的漏率值相对稳定后，就可以对真空炉或镀膜机的可疑漏点进行喷氨检漏。7.检漏结束后，先关闭高真空手动挡板阀，再按下检漏仪的‘停止’键，让检漏仪处在“待机”状态。8.较后关闭真空炉或镀膜机的抽空系统。9.拆除检漏仪与真空炉或镀膜机连接的波纹管。关闭检漏仪电源。检漏仪在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的。

氦气检漏仪在锅炉检漏中的应用：氦质谱检漏的主要特点：①检漏仪的示踪气体通常选用氦气.因氦气在空气中的含量极少，只占约二十万分之一这样氦气的本底值就小有利于发现极微量的氦气；②氦分子小、质量轻、易扩散、易穿越漏孔.易于检测也易于清理；③氦离子荷质比小，易于进行质谱分析；④氦气是惰性气体化学性质稳定不会腐蚀和损伤任何设备：⑤氦气无毒，不凝结，极难容于水。与常规水压查漏相比，氦质谱检漏技术具有快速、准确、灵敏度高及无损伤性等方面的优点。采用水压查漏，现场实际操作复杂，对水质、水温、升压方式、升压设备等方面都有一定要求。而且在轻微泄漏时，漏点不容易被发现。在某些情况下，大面积拆除保温，从工期和费用等方面均值得考虑。通过检漏仪跟踪氦气浓度梯度变化，能够快速准确查找到被保温覆盖的焊缝微裂纹。检漏仪检漏法是利用氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。盐城密封性检漏机

检漏仪检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清理。安徽移动式检漏仪原理

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