天津螺杆真空泵方案设计

真空泵选择的依据和条件。（1）系统对真空度的要求。根据系统对真空度的要求，选择相应极限真空的泵。一般要求泵的极限真空比系统要求的极限真空高0.5~1个数量级。（2）系统正常工作时的压力范围。要求泵正常工作的压力范围必须满足系统所要求的工作压力。（3）被抽气体种类、成分、杂质情况及系统工作时对污染的限制要求。被抽气体性质及对污染的要求是选择不同特性真空泵的一个重要条件。它不但与工作时泵的性能有关，而且直接与泵的工作寿命及检修维护情况有关，特别是在化工生产中，它往往是正确选泵的一个关键因素。（4）系统被抽气量或体积流量。它是决定选择某一类型真空泵的主要依据。真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。天津螺杆真空泵方案设计

昊青气体装备技术（江苏）有限公司，位于江苏省昆山市，由压缩机、真空泵领域专业技术人员发起设立，其团队成员均富有深厚的行业经验、过硬的技术知识和用心做事的匠人态度。昊青公司，从研发、设计、制造以及服务着手，为客户提供性能高、品质好、成本优的真空泵、压缩机及鼓风机产品。作为一家年轻和富有活力的气体装备公司，昊青向业内大品牌看齐，向他们学习致敬，对标其过硬的产品性能和服务品质，注重技术与管理创新，持续改进产品和服务，推进自身与行业的可持续发展，努力成为客户的合作伙伴。昊青公司将通过不懈的技术研发，给市场提供可靠环保的产品，努力为客户创造更多价值。昊青将始终践行绿色环保、节能减排的理念，积极主动承担企业社会责任。为了共同守护我们的碧水青天，让人类的蓝色家园更加美丽，昊青将以上下求索，以求基业长青。天津螺杆真空泵方案设计螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。

在什么情况下使用涡轮分子真空泵呢？涡轮分子真空泵可达到10-12毫巴的压力水平。流量从50升到5000升/秒不等。它们的工作原理与压缩机相同。泵的各级叶片由高速旋转的电动机旋转，电动机从待排空的容积中排出空气。这种泵通常安装在磁性轴承上以支持高转速。它们需要一台真空极限为10-2mbar的主泵。涡轮分子真空泵的优点是不需要机油。这种泵特别适合超高真空的应用，如分析仪器或实验室分析。由于其复杂的技术，涡轮分子泵的购买成本很高，并且比传统的真空泵需要更多的维护。泵送速度也很大程度上取决于所泵送气体的类型。对于较轻的气体，速度会急剧下降。

前面我们讲的都是粗真空。但对于制造极其微小的结构，则需要高真空，例如，利用高真空使金属沉积到硅晶片上。一方面，所用金属沸点相对较低。另一方面，即使是再小的夹杂物，甚至是空气气体分子，也会损害薄片层的导电性。离子注入也是如此，在此工艺中，离子在电场中加速运动，被引导到晶片上并置于晶格中。没有真空，EUV 光刻也就无从实现。作为相对较新的工艺，EUV 光刻使用波长非常短的极紫外光来显示晶片上特别小的结构。EUV 光传播几毫米后就会被空气完全吸收。只有在真空度非常高时，它才能畅通无阻地传播。此技术和类似方法是很多芯片技术发展的先决条件，例如，让我们的智能手机变得越来越薄，同时提供不断增强的性能，如果没有高真空度的辅助，都是不可能实现的。一个典型的半导体工厂里就需要3种真空，需要不同的真空泵，对于工艺真空应用，油封螺杆真空泵是适用的。

真空镀膜技术主要应用在以下3个领域：一是在装饰品方面。随着经济的发展和生活水平的提高，人们喜欢将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室内外装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五彩缤纷。二是在刀具、模具等金属切削加工工具方面。在生活中，我们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等，这些就是经过镀膜技术加工后的涂层工具。第三，在平板显示器中。所有各类平板显示器都要用到各种类型的薄膜，而且，几乎所有类型的平板显示器件都需要使用ITO膜，以满足透明电器的要求。可以毫不夸张的说，没有薄膜技术，就没有平板显示器件。真空泵在使用过程中，应避免日光直射，远离热源体。山东永磁螺杆真空泵按需定制

使用真空泵对薄膜进行抽真空处理，以使树脂可以穿过所有的孔以实现更好的扩散状态。天津螺杆真空泵方案设计

据昊青气体装备的研发人员介绍，螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的真空泵。它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性，因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐，逐渐成为传统油封机械泵、液环泵的换代产品。螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。它具有以下特点：1、清洁无油，多相混输，适应性普遍。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有害及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。2、结构简单，动平衡好，可靠性高。螺杆式真空泵零部件少，主要部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。3、因结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。4、强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。天津螺杆真空泵方案设计