福建节能真空泵方案设计

螺杆真空泵一般是双螺杆结构。前面螺杆式真空泵的专业生产厂家昊青气体装备已经提到，螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向运转，周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。螺杆转子经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵腔中，螺杆与螺杆之间维持严格一定的间隙。泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，腔内无需润滑油。因此，螺杆式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空高，消耗功率低，具有节能，免维修等优点。真空泵是在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置，可普遍应用于冶金、化工、制药、食品、电子等行业。福建节能真空泵方案设计

前面我们讲的都是粗真空。但对于制造极其微小的结构，则需要高真空，例如，利用高真空使金属沉积到硅晶片上。一方面，所用金属沸点相对较低。另一方面，即使是再小的夹杂物，甚至是空气气体分子，也会损害薄片层的导电性。离子注入也是如此，在此工艺中，离子在电场中加速运动，被引导到晶片上并置于晶格中。没有真空，EUV 光刻也就无从实现。作为相对较新的工艺，EUV 光刻使用波长非常短的极紫外光来显示晶片上特别小的结构。EUV 光传播几毫米后就会被空气完全吸收。只有在真空度非常高时，它才能畅通无阻地传播。此技术和类似方法是很多芯片技术发展的先决条件，例如，让我们的智能手机变得越来越薄，同时提供不断增强的性能，如果没有高真空度的辅助，都是不可能实现的。福建变频真空泵节能推荐昊青气体装备从研发、设计、制造以及服务着手，专业为客户提供真空泵及鼓风机产品。

大型真空泵的特点：功率大，极限真空高，但是价格高昂、体积大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期维护，不易移动等。有的必须使用真空泵油或润滑油，工作中会产生油雾，但在低真空场合反而浪费，像实验室，只是需要泵对少量气体进采样、气体分析、气体循环、真空吸附、气体转移、增压、间接吸水、排水等时，用大型真空泵反而暴露出它的很多缺点。所以如何减弱这些缺点，对于专业的工作人员而言是个十分棘手的工作，但是依然值得大家期待。

在什么情况下使用涡轮分子真空泵呢？涡轮分子真空泵可达到10-12毫巴的压力水平。流量从50升到5000升/秒不等。它们的工作原理与压缩机相同。泵的各级叶片由高速旋转的电动机旋转，电动机从待排空的容积中排出空气。这种泵通常安装在磁性轴承上以支持高转速。它们需要一台真空极限为10-2mbar的主泵。涡轮分子真空泵的优点是不需要机油。这种泵特别适合超高真空的应用，如分析仪器或实验室分析。由于其复杂的技术，涡轮分子泵的购买成本很高，并且比传统的真空泵需要更多的维护。泵送速度也很大程度上取决于所泵送气体的类型。对于较轻的气体，速度会急剧下降。真空获得能力从原来的几百帕发展到现在的高真空、超高真空领域，抽速、机械性能和可靠性等都得到了提高。

之前有简单的介绍过螺杆真空泵的工作原理，跟螺杆空压机相似。其主要分吸气，压缩，排气三个步骤。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环。螺杆式真空泵是一种工作容积作回转运动的容积式机械真空泵。气体的压缩依靠容积的变化来实现，而容积的变化又是借助螺杆泵的一对转子在机壳内作回转运动来达到。螺杆真空泵要能连续地供油,就要求齿轮啮合的重叠系數大于1，就是当一对齿轮尚未脱开啮合时，另一对齿轮已进入啮合，在两对齿轮的齿向啮合线之间形成了一个封闭容积。封闭空间的容积是动态变化的，由大变小再由小变大，若整个啮合过程中有某段时间啮合重叠系數小于1时，油泵的输油率就很不均匀，真空泵泵不能正常工作。那么螺杆式真空泵的困油现象是怎么样的？留在齿间的油液被困在两对同时啮合的轮齿所形成的一个封闭空间内，这个空间的容积又将随着齿轮的转动而变化，这就是真空泵泵的困油现象。而困油现象带给真空泵的危害是轴承负荷增大、功率损失增加、油液发热、引起噪音和振动、影响油泵的工作性能、平稳性和寿命。几种常见的真空泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。贵州油真空泵

使用真空泵对薄膜进行抽真空处理，以使树脂可以穿过所有的孔以实现更好的扩散状态。福建节能真空泵方案设计

昊青气体装备总结出真空泵电机温度高的解决方案。电机功率、转速是和真空泵相匹配的，无法更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起电机振动增加。方法如下：1)、将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；2)定期清理电机上灰尘，保持电机散热片清洁，增加其散热能力；3)将真空泵所在母线电压调整为400V。福建节能真空泵方案设计