常州电子工程真空泵

干式机械真空泵的应用是普遍的，主要有以下几个方面：1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。真空泵的使用保养方法是什么？常州电子工程真空泵

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵一般可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。 动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。镇江木工机械真空泵真空泵的工作压力应满足真空设备的极限真空和工作压力要求。

真空泵选型中，真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时，若真空室体积越大，则主泵抽速也越大。正确地组合真空泵。因为各种真空泵的性能不同，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选择主泵。

真空泵泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。真空泵在停止使用时，应存放在干燥、请洁的环境中。

真空泵的性能参数： 1）真空泵的极限压强，泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的较低压强。2）真空泵的抽气速率，泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。3）真空泵的抽气量，真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。4）真空泵的起动压强，真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。真空泵的作用就是产生负压，从而增加制动力。合肥科研实验室真空泵多少钱

真空泵具有哪些特点？常州电子工程真空泵

实验室用真空泵该如何选择？ 使用环境是否需要保证无污染？由于设计原理，部分真空泵需要使用其他介质辅助泵的运行，如旋片真空泵和水循环真空泵，需要分别灌注泵油和连接水源。使用泵油时，油雾会散发到空气中污染环境，油雾分子会扩散至真空室污染被抽物料，一些腐蚀性物料进入泵腔会与泵腔中的油反应导致真空泵损坏。水循环泵同样会需要这些问题，有毒有害的物料与真空泵中的水循环工作液混合，产生大量污水难以处理。因此，一些需要洁净真空的用户，以及工况中有腐蚀性气体或有磁性介质的客户无法使用此类产品。这个时候，应该选择无油真空泵。常州电子工程真空泵

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