杭州超高真空分子泵报价

时间:2023年05月20日 来源:

真空泵的抽速和真空机组的配置:不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成,即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度,而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然较简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组,中真空一般需要二级机组。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组,这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制,即前级高于某一压力,泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求,必然会引起真空机组不能正常工作。随着科技的不断进步,真空泵的性能和效率也在不断提高,为工业生产带来更多的便利和效益。杭州超高真空分子泵报价

干式机械真空泵的应用是普遍的,主要有以下几个方面:1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。常州真空泵式真空泵的制造技术也在不断提高,如精密加工、自动化生产等,为行业提供更高效、更可靠的产品。

真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵一般可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。 动量传输泵(分子真空泵)依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。变容真空泵又分为:往复式,旋转式(旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式),其它型式。

真空泵机械如何选择?正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。真空泵的使用需要注意防尘防水,避免因灰尘、水分等进入泵体造成设备损坏。

真空泵工作中必须做到哪些事情?管路与泵壁结合处不得有漏水、跑气现象。气水分离封闭水箱及各种管路不得堵塞或漏水、漏气。安全减压阀,在开车和停车时,都自动动作与大气接通,保护设备以免损坏。安全减压系统所有旋扭一经整定后,任何人不得随意旋动。检查各油箱油位是否在观察窗的红点。油位处于红圈之外时,设备禁止运转。随时检查各紧固螺栓是否有松动现象,发现松动要立即紧好。要经常注意机下泻水管排出水的颜色,变黑时及时检查真空过滤系统。真空泵的使用需要注意节能问题,如选择合适的泵型、合理使用泵油等,以减少能耗和成本。真空机械泵

真空泵的国际市场也非常广阔,国外制造商在技术、品质、服务等方面也有很高的水平。杭州超高真空分子泵报价

真空泵结垢如何避免?循环冷却水的硬度循环水在真空泵中的运行过程,与低压热水锅炉中锅水运行过程极其相似。因此,按照热水锅炉水质标准来管理真空泵水质,既可防止真空泵结垢又可防止真空泵腐蚀。真空泵循环水系统大都是敞开式循环系统,回水率比较高。在因资金等原因不采用离子交换设备进行水处理的情况下,一般利用一个软化水池加一个高位水池对真空泵进行供水。循环冷却水的硬度,循环水在真空泵中的运行过程,与低压热水锅炉中锅水运行过程极其相似。因此,按照热水锅炉水质标准来管理真空泵水质,既可防止真空泵结垢又可防止真空泵腐蚀。真空泵循环水系统大都是敞开式循环系统,回水率比较高。在因资金等原因不采用离子交换设备进行水处理的情况下,一般利用一个软化水池加一个高位水池对真空泵进行供水。杭州超高真空分子泵报价

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