武汉真空机械泵

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。 常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。真空泵的使用需要注意安全问题，如防止泵油泄漏、防止泵体爆裂等。武汉真空机械泵

爪式真空泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下一些特点：1、泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生；2、抽气原件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）；3、与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损；4、在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除；5、该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防反流的阀门，出口处有截流阀，电气监控及报警装置；6、齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑。压力真空泵订购真空泵的使用需要注意防震防振，避免因震动造成设备损坏或人员伤害。

真空泵运行期间轴承发热怎么办？阀片开裂，当一个阀片开裂时，叶轮两边的压力将不平衡，转子会发生轴向力，使轴承负载加剧，长期运转会使轴承温度上升。此情况下应及时替换阀片。轴端密封失效，当轴端密封盘根损坏或密封水孔道被阻塞后，会形成空气从这些损坏的缝隙中被吸入到泵体内，会形成泵的吸气及排气性能。若只要一侧密封失效时，会形成叶轮两边压力不平衡，转子发生轴向力，使轴承负载加剧，从而使轴承温度增加。轴承预紧力过大。这种情况会促进轴承游隙削减或无游隙，形成轴承升温。

真空泵泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。真空泵的维护保养非常重要，包括定期更换油封、清洗泵体、检查密封性等。

水环式真空泵的操作流程和维护事项：1、检查真空系统中各阀门是否处于规定中的打开或关闭状态检查系统是否有泄露。2、检查水环式真空泵泵腔内的水量是否超过水环式真空泵的启动要求，启动泵前需要先打开进水阀进水，严禁泵腔内无水启动，以免引起机封干磨烧掉漏水。3、检查水路、电路是否连接好。水路是否通畅，水压是否达到规定的要求;电路连接时一定要求各真空泵的转向符合规定的要求。(在无负载的情况下点动试运转检测)4、点动真空泵工作按钮，转向符合要求，启动水环式真空泵并立即打开水环式真空泵进水阀门，调节好水量。真空泵在半导体行业中的应用非常广，用于制造芯片、光刻机、薄膜沉积等工艺。成都电磁式真空泵

真空泵的故障排除也是一个重要的问题，常见的故障包括泵油污染、密封件老化、机械部件损坏等。武汉真空机械泵

真空泵机械如何选择？正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。武汉真空机械泵

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