浙江喷射真空泵

如何对真空泵机组转子进行测量？1、转子径向圆跳动值的测量：先将转子放在两个V形铁上，把转子上每个测量部位的圆周分成几等份，例如分成六份。在测量部位上装上百分表，表的测量头要垂直于轴线。2、按同一方向慢慢转动转子，每转过一等份记录一个读数。转子转动一周后，每个测点都得到六个读数，把这些读数记录在表格中。根据记录计算各测点的较大跳动值，同一测点较大读数减去较小读数的差值就是该测点部位的径向圆跳动值。对真空泵机组的转子进行测量的目的是处理由于转子径向圆跳动和轴向圆跳动超差引起的摩擦或轴的振动，所以实施这项工作是非常重要的。真空泵在半导体行业中的应用非常广，用于制造芯片、光刻机、薄膜沉积等工艺。浙江喷射真空泵

真空泵故障维修方法：极限真空不高及其消除（1）油位太低，有较大排气声，可加入清洁的真空泵油。（2）泵油为可凝性蒸汽所污染，可开气镇净化或更换新油。（3）泵口外接管道、容器、测试仪表管道、接头等漏气。大漏时，有大排气声，排气口有气排出，应找出漏气部位，进行消除。（4）进气咀或气镇阀橡胶密封图装配不当，损坏或老化，应调整或更换。（5）进油咀油孔堵塞，可拔出进油咀，疏通油孔。（6）真空系统严重污染，包括容器、管道等，应予清洗。（7）旋片弹簧折断，应予调换。（8）旋片、泵身或盖磨损，间隙过大，应进行检查，修整或调换。（9）泵温过高，应改善通风和冷却。如所抽气体温度太高，应予先冷却后再进入泵内。水循环真空泵型号真空泵的种类繁多，包括旋片泵、罗茨泵、涡旋泵等，不同种类的泵适用于不同的工作环境。

选择真空泵有哪些原则？（1）真空泵的结构：抽腐蚀性气体，必须要求真空泵用耐腐蚀材料或衬耐腐蚀材料制成。抽与油起作用的气体，不能选择使用润滑油的真空泵。（2）满足工艺要求：如减压塔顶不凝气体的量很大，必须选用蒸汽喷射真空泵，因为它具有真空度高，结构简单，操作方便等特点，在减压塔内造成很高真空，有利于在减压下分馏，保证了产品质量。（3）足够的抽气速率：在允许的时间内，能把需要抽走的气体抽出，才能保证生产的正常进行。（4）工作时间：连续工作时间能保证一个工艺循环的基本要求，不能因为连续工作时间短而影响生产。

真空泵的安装：⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清理管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。真空泵的使用需要注意电气安全，避免电击等事故发生。

真空泵该如何维护保养?真空泵使用于粗低真空领域。适合于抽除空气和干燥气体，不能抽除有腐蚀性的，有毒的，易燃易爆气体，不能抽吸固体或液体。使用过程：由于氧化或工作中吸入各类杂质因素，使得油发生变质，泵运转性能下降，劲头变小，抽不起现象，因此需要通过油视窗查明的污浊程度及粘度情况，并及时更换泵油。换油步骤：放油→过滤器拆卸→进气口清洁→泵腔内清洁→油滤清洗或更换→真空泵专门使用油更换。提示：滤芯失效会导致喷油、冒烟，油烟里含有有害气体,威胁人员健康，定期更换滤芯，以确保滤芯的过滤效果，保证真空泵的运行性能，减少油耗，节约成本。真空泵的使用寿命也是一个重要的考虑因素，需要根据实际使用情况进行评估和维护。环水真空泵

真空泵的选型需要根据具体的工作环境、工作要求、预算等因素进行综合考虑。浙江喷射真空泵

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。特点:(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大幅降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。浙江喷射真空泵

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