原装四氟化碳厂家哪家好

时间:2022年05月06日 来源:

四氟化碳的合成工艺有烷烃直接氟化法、氟氯甲烷氟化法、氢氟甲烷氟化法和氟碳直接合成法四种,目前工业上四氟化碳的合成主要采用氟碳直接合成法。这种生产工艺的优点是原料易得、反应可控、产物纯度高。该方法已实现工业化生产,产品纯度高达99.99%以上,可满足电子工业的需求,已成为工业上制备四氟化碳的主要方法。就目前而言,四氟化碳以其相对低廉的价格将会长期占据着蚀刻气体的市场,因此具有广的发展潜力。未来,四氟化碳的需求将会明显增加。四氟化碳没有腐蚀性。原装四氟化碳厂家哪家好

    四氟化碳(CF4)是目前微电子工业中用量比较大的等离子体蚀刻气体,广用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、低温制冷、气体绝缘、泄漏检测剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂、润滑剂及制动液等方面也有大量应用。由于它的化学稳定性极强,CF4还可用于金属冶炼和塑料行业等。当今超大规模集成电路所用电子气体的特点和发展趋势是超纯、超净、多品种、多规模,各国为推动本国微电子工业的发展,越来越重视发展特种电子气体的生产技术。就目前而言,CF4以其相对低廉的价格长期占据着蚀刻气体的市场,因此具有广阔的发展潜力。 常州直销四氟化碳优化价格四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高。

一种四氟化碳气体浓度检测校正方法,包括:

通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出不同温度下的四氟化碳气体浓度值;

将测量出的所述四氟化碳气体浓度值和对应的温度值输入至RBF神经网络进行训练;

将对测试样本测量所得的四氟化碳气体浓度值输入至训练好的所述RBF神经网络进行测试并开展反演计算,得到校正后的四氟化碳气体实际浓度值。

推荐地,在本发明实施例提供的上述四氟化碳气体浓度检测校正方法中,通过双光路检测系统利用双波长红外差分检测法测量出四氟化碳气体浓度值,包括:所述红外光源发出的红外光束经准直后进入内置有四氟化碳气体的所述气体采样室;被四氟化碳气体吸收特定波长的红外光束作为测量光;波长不受四氟化碳气体影响的红外光束作为参考光;

在所述测量光经所述滤光片透射后,检测所述测量光的光强;在所述参考光经所述第二滤光片透射后,检测所述参考光的光强;


    就目前而言,四氟化碳以其相对低廉的价格长期占据着蚀刻气体的市场,因此具有广阔的发展潜力。以四氟化碳为表示的全氟烷广用作微电子行业中的等离子体蚀刻气体,近年来世界需求量日益扩大,市场看好。国外大公司纷纷扩大其产能。目前国内虽有全氟烷生产,但规模不大,技术落后,特别是纯度不能满足电子产品的需求。因此,有必要加强以四氟化碳为表示的全氟烷的生产与研究,特别是进一步开发氢氟烃直接氟化法和氟碳直接合成法工艺以及以吸附-低温精馏为表示的精制工艺,使其早日实现工业化生产。 四氟化碳,又称为四氟甲烷。

    四氟化碳的合成方法:由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,经精馏而得成品;预先称取5~10g的碳化硅粉末和,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应,反应放热后,氟开始和碳化硅进行反应,通入等体积的干燥氮气以稀释氟气,使反应继续进行,生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝,然后慢慢地气化后,将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅,随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到产品;以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中,缓缓通入高浓氟气,并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘,碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去O2、N2、H2,得到高纯CF4。 R-14制冷剂,别名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名称有Freon 14等。杭州正规四氟化碳销售价格

在蚀刻过程中,用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉。原装四氟化碳厂家哪家好

二氧化碳钢瓶的使用方法及注意事项; 使用前检查连接部位是否漏气,可涂上肥皂液进行检查,调整至确实不漏气后才进行实验。使用时先逆时针打开钢瓶总开关观察高压表读数,记录高压瓶内总的二氧化碳压力。然后顺时针转动低压表压力调节螺杆,使其压缩主弹簧将活门打开。这样进口的高压气体,由高压室经节流减压后进入低压室,并经出口通往工作系统。使用后,先关闭顺时针,关闭钢瓶总开关,再逆时针旋松减压阀。各种气瓶必须定期进行技术检查。充装一般气体的气瓶三年检验一次;如在使用中发现有严重腐蚀或严重损伤的,应提前进行检验。






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