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四氟甲烷(R-14)是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。四氟化碳的包装可重复使用高压钢瓶包装(需回收包装钢瓶)。四氟化碳有时会用作低温冷却剂。它可用于电路板的制造,以及制造绝缘物质和半导体。它是用作气体蚀刻剂及等离子体蚀刻版。四氟化碳的溶氧性很好。南通口碑好四氟化碳厂家供货
质量指标纯度(%)≥99.99水份(PPm)≤10酸度(PPm)≤0.3蒸发残留物(PPm)≤100%物理性质分子量88.0沸点(1atm),℃-128临界温度,℃-45.67临界压力,kPa3740饱和蒸气压(25℃),kPa3650(-45.6℃)汽化热/蒸发潜热(沸点下,1atm),kJ/kg-破坏臭氧潜能值(ODP)0全球变暖潜能值(GWP,100yr)5700ASHRAE安全级别A1(无毒不可燃)化学性质相对分子量88.00。在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,是**稳定的有机化合物之一,不易溶于水。在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,*在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。杭州正规四氟化碳厂家价格由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。
随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四氟化碳成为一种全球变暖潜力值和生命周期极高的温室气体。具有低能耗和高效率的等离子体处理法被广泛应用于四氟化碳分解中,表面波等离子体的大面积、无极放电、放电容器形状多样等优点使其成为处理四氟化碳的良好方法。设计了一套大面积表面波等离子体反应器,在低气压下激发等离子体用于处理四氟化碳,考察了微波功率、气体流量、氧气比例等影响因素对分解率的影响。
二氧化碳钢瓶的使用方法及注意事项; 使用前检查连接部位是否漏气,可涂上肥皂液进行检查,调整至确实不漏气后才进行实验。使用时先逆时针打开钢瓶总开关观察高压表读数,记录高压瓶内总的二氧化碳压力。然后顺时针转动低压表压力调节螺杆,使其压缩主弹簧将活门打开。这样进口的高压气体,由高压室经节流减压后进入低压室,并经出口通往工作系统。使用后,先关闭顺时针,关闭钢瓶总开关,再逆时针旋松减压阀。各种气瓶必须定期进行技术检查。充装一般气体的气瓶三年检验一次;如在使用中发现有严重腐蚀或严重损伤的,应提前进行检验。
四氟化碳可用于金属冶炼。
四氟化碳有 制冷、气体绝缘、干蚀刻气、氟化剂、表面处理剂、激光气体泄漏检验剂等用途。四氟化碳为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。 可以用聚四氟乙烯,环氧树脂和醋酸纤维。尼龙在高温,有水和空气时变脆。聚三氟氯乙烯聚合体可以用,但稍微有膨胀。废气可直接排人大气中。四氟化碳的化学性质稳定,在通常情况下,它与硅直接接触,也不会发生化学反应。江浙沪新能源四氟化碳质量代理商
R-14制冷剂,别名R14、氟利昂14、PFC-14,商品名称有Freon 14等。南通口碑好四氟化碳厂家供货
高纯四氟化碳和六氟化硫产品满足重大专项/课题任务书研究内容和考核指标规定的技术要求。项目的验收完成,标志着黎明院开发的高纯度含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫产品,能够满足极大规模集成电路行业所需的高纯度气体需求,也标志着极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体实现了国产化。高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体是极大规模集成电路行业必须的清洗、蚀刻气体。随着极大规模集成电路技术的提升,芯片制程向14纳米甚至7纳米的迈进,其对电子气体的纯度要求越来越高。为此,黎明院借助科技重大专项平台,突破产物合成、精制提纯、杂物分析、洁净充装等关键技术,攻克了高纯度四氟化碳和六氟化硫制备过程中微量杂质的纯化、分析等技术难题,制备出5.8N四氟化碳和5.5N六氟化硫,部分杂质含量在0.1ppm以内。在研发过程中,并建成了标准化洁净间。
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