半导体行业净化车间业务费用

净化车间物料进出管理制度：1.物料进出洁净区，必须严格与人流通道分开，由生产车间物料专门用的通道进出。2.通过传递窗传递时，必须严格执行传递窗内外门"一开一闭"的规定，两门不能同时开启。3.物料进入时，原辅料由配制班工序负责人组织人员脱包或外表清洁处理后，经传递窗送至车间原辅料暂存间；内包材料在其外暂存间拆去外包装后，经传递窗送入内包间。4.洁净区内的物料送出时，应先将物料运送至相关的物料中间站内，按物料进入时的相反程序移出洁净区。5.所有半成品从洁净区运出，均需从传递窗送至外暂存间，经物流通道转运至外包装间。6.极易造成污染的物料及废弃物，均应从其专门用的传递窗运到非洁净区。净化车间的进出要求：门要求密闭，人、物进出口处装有气闸。半导体行业净化车间业务费用

净化车间的污染控制：1.净化车间的污染源可分为外污染源和内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及供水、溶剂等；而污染源则包括制造设备、工作人员、工具、加工制造、工作桌、包装材料等。2.防止外部尘埃侵入：净化车间内应保持适当的正压（＞5Pa）；做好施工工程的不漏气；人员设备、原材料搬入净化车间前先做好清洁擦拭等防尘工作，空气过滤器的管理和设置等。3.防止室内发尘：主要控制：无尘室的墙、地板等无尘室材料的适当选用、制造设备的发尘控制、净化车间内的员工管理、洁净服的管理、使用净化车间专门用的器件等。4.室内发尘不积留：墙壁体应光滑去死角、净化车间需定期保养和清扫、设备四周应留有空间。5.及时去除空间尘粒：换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。武汉工厂净化车间工程净化车间的生产操作区与公共区的清洁工具应有明显的区分标志。

净化车间的消毒管理：1.消毒方式：臭氧消毒法。2.关掉净化空调系统新风阀，净化空调系统正常运行。3.启动臭氧发生器，消毒时间不少于3小时。4.开启净化空调系统新风阀，恢复空调系统正常运行30分钟后，人员方可进入。5.消毒周期：C级洁净区一周一次，D级洁净区两周一次。6.记录：消毒结束后填写相关记录。注意事项：1.每次消毒都应在洁净区清洁工作完成之后进行。2.臭氧消毒过程中，工作人员应进行严格监控，防止人员进入消毒区域。3.使用臭氧消毒后，应确保消毒区域恢复空调系统正常运行30分钟后人员方可进入。

净化车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、湿度、净化度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之净化度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触的大气的净化度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。净化工程施工的质量标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级。

净化车间温度、湿度的测试方法：净化车间温度的测试：应将净化工作区划分为等面积的栅格，每个分格面积不超过100平方米或与建设方协商确定，每格测点1个以上，每个房间测点至少2个。测试高度应为工作面高度，距的吊顶、墙面和地面不小于300MM，并应考虑热源等的影响，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。净化车间一般温度测试的测点，每个温度控制区或每个房间1个测点，测试点高度宜为工作面高度，测量时间应至少1H，并至少6min测量一次，读数稳定后做好记录。净化车间湿度的测试：湿度测试可采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同，宜一同测试。净化车间是什么样的？湖北实验室净化车间工程

常用的净化车间主要有百级净化车间、千级净化车间、万级无尘车间、十万级和三十万级净化车间。半导体行业净化车间业务费用

净化车间通常包括了人身净化、物料净化。1.人身净化。为了尽量减少操作中人员活动造成的污染，在进入净化区之前，人员必须更换净化服，并进行淋浴和消毒。这些措施即人身净化(简称“人净”)。人净用房中更换净化服的房间应予送风，入口侧和其他房间应保持正压，卫生间和淋浴应保持少量正压，卫生间和淋浴应保持负压。2.物料净化。在送入净化区之前，必须对各种物件进行净化处理，简称物净。物料净化路线应与人净路线分开，如果材料和人员只能在同一个地方进入净化车间，也必须分门而入，物料要经过粗净处理。半导体行业净化车间业务费用

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