佛山低温DLC涂层原理

dlc涂层的力学性能。a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜[10]，广州有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜比较高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa[11]。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石(110GPa)，但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。b.内应力和结合强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜比较好具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜/基结合强度一般比较低，广州有色金属研究院通过采用Ti/TiN/TiCN/TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N[12]，制备的膜导总体厚度可达5um。DLC涂层上世纪70年代被命名为类金刚石薄膜。佛山低温DLC涂层原理

金刚石涂层工艺流程：1、工件基体处理。这一步是比较重要的，将工件抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量，这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的，类似成形光学镜头和成形LED零件等。操作的时候需要注意基体表面处理不能留有死角，这影响到膜层是否能与基体牢固地结合。2、充分清洗。将要涂覆的工件进行充分清洗，涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗的工艺。工件装在设定的夹具上，夹具是在使腔体装载尺寸优化和保证涂覆均匀的基础上设计的。清洗方法为真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物，真空室中通入惰性气体并使其离子化，导致产生辉光放电(等离子体)，这是气体清洗阶段使零件做好金属沉淀准备。3、金属沉淀。在用于沉淀的固体金属上（指靶材）加载高电流、低电压电弧，金属被蒸发并且瞬间离子化，属离子在高能量的作用下通过惰性气体或活性气体进入腔体并沉淀在工件上。在金属沉淀过程中蒸发了的金属(靶材)保持不变。在激i活的沉淀过程中，改变气体的体积或种类将会改变膜层的性质，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同样，通过改变靶材的材质也可以产生不同的膜层。佛山低温DLC涂层原理DLC涂层具备出色的耐磨性能。

利晟纳米DLC涂层具有优良的力学性能。（1）硬度及弹性不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜，用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（110GPa），但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。（2）内应力和结合强度薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜\基结合强度一般比较低，通过采用Ti\TiN\TiCN\TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N，制备的膜导总体厚度可达5um。

DLC涂层具有优良的力学性能。（1）硬度及弹性不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜，用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（110GPa），但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。（2）内应力和结合强度薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜\基结合强度一般比较低，通过采用Ti\TiN\TiCN\TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N，制备的膜导总体厚度可达5um。在许多刀具加工中，涂层的硬度及良好的粘附性至关重要。

多弧镀涂层颜色较为稳定，特别是在做 TiN 涂层时，每一次均容易得到相同稳定的金黄色，令磁控溅射法望尘莫及。dlc涂层厂多弧镀的缺乏之处是，在用传统的 DC 电源做低温涂层条件下，当涂层厚度到达0.3μm 时，堆积率与反射率接近，成膜变得十分艰难。而且，薄膜外表开端变朦。多弧镀另一个不足之处是，由于金属是熔后蒸发，因而堆积颗粒较大，致密度低，耐磨性比磁控溅射法成膜差。可见，dlc涂层厂多弧镀膜与磁控溅射法镀膜各有优劣，为了尽可能地发挥它们各自的优越性，完成互补，将多弧技术与磁控技术合而为一的涂层机应运而生。在各种制备DLC涂层的沉积方法中，脉冲激光沉积使用频率高，制备效果好，深受重视。广州低摩擦低温DLC涂层供应商

DLC类金刚石涂层原理是什么？应用于哪些领域？佛山低温DLC涂层原理

反响气源的组成对DLC涂层结构影响很大，特别是对DLC涂层的氢气结构有重要影响。首先，原子氢对石墨以及其他非金刚石相碳具有择优刻蚀的效果。堆积金刚石薄膜过程中，在没有超平衡氢原子参与时，甲烷分解为石墨和金刚石键价结构的速率是处于同一个数量级的。可是当甲烷和氢气的混合气体中引入超平衡原子氢后，甲烷的热分解效果和原子氢的刻蚀效果加在一起，就出现了金刚石的成长速率为正，石墨的成长速率为负的情况，即原子氢刻蚀石墨的速度远高于刻蚀金刚石的速度。因而，当反响气源中引入原子氢有利于添加DLC膜中sp3相含量，安稳随机共价键网络，阻止其转化为石墨相。其次，反响气源中氢气比例越高，DLC膜中含氢量越高，越有利于完成超i低突冲系数。经过改变DLC膜中的氢含量，突冲因数可改变几个数量级。佛山低温DLC涂层原理

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