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DLC类金刚石涂层工艺流程:1、工件基体处理。这一步是比较重要的,将工件抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量,这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的,类似成形光学镜头和成形LED零件等。操作的时候需要注意基体表面处理不能留有死角,这影响到膜层是否能与基体牢固地结合。2、充分清洗。将要涂覆的工件进行充分清洗,涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗的工艺。工件装在设定的夹具上,夹具是在使腔体装载尺寸优化和保证涂覆均匀的基础上设计的。清洗方法为真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物,真空室中通入惰性气体并使其离子化,导致产生辉光放电(等离子体),这是气体清洗阶段使零件做好金属沉淀准备。3、金属沉淀。在用于沉淀的固体金属上(指靶材)加载高电流、低电压电弧,金属被蒸发并且瞬间离子化,属离子在高能量的作用下通过惰性气体或活性气体进入腔体并沉淀在工件上。在金属沉淀过程中蒸发了的金属(靶材)保持不变。在ji活的沉淀过程中,改变气体的体积或种类将会改变膜层的性质,形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同样,通过改变靶材的材质也可以产生不同的膜层。类金刚石碳(Diamond-like Carbon)DLC泛指不定性碳的晶体结构材质。东莞高精密模具类金刚石加工厂家
DLC是一种由碳元素组成的物质,在性质上类似于DIAMOND-LIKECRBON。DLC是一种非晶膜,因其硬度高、弹性模量大、摩擦因数低、耐磨性好、真空摩擦性好,非常适合作为耐磨涂层,引起了摩擦界的重视。目前制备DLC膜的方法很多,不同制备方法使用的碳源和到达基体表面的离子能量不同,沉积的DLC涂层结构和性能差别很大,摩擦性能也不同。下面就来了解一下DLC涂层沉积设备的系统组成都有哪些?一、热水冷却系统。在沉积室内,加热系统和水冷系统均布于沉积室四周,可控制加热温度、速度和水量,并设有相应的报警器,旋转系统设在沉积室底部,绝缘陶瓷绝缘,旋转速度可控。二、真空系统。本机由机械泵、罗茨泵、扩散泵及相应的控制阀、测量元件组成,可根据工艺要求自由切换高、低真空。三、供气系统。煤气供应系统位于沉积室顶部,气体种类包括H2、N2、Ar、CHa、C2H2、Si气体,同时在沉积室顶部预留两个通道接口,便于日后添加其它气体。含有Si的过渡层是已确认的有利于DLC涂层与基体结合力的一种涂层,为得到Si,通常使用SiH4作为原料气,但SiH4却具有较高危险性,因此采用SiH4作为Si的含Si气体源。深圳汽车油针类金刚石处理金刚石膜和类金刚石膜的区别在什么地方?
PVD法的优势是适用的涂层材料范围较广,工艺温度相对较低(450℃左右),允许对锋利的切削刃进行涂层。该方法的缺点是:内表面涂层比较困难(涂层时,要求从涂层材料到基体必须处在一条直线上),对基体表面要求较高。PVD法有两种主要的工艺,可用于在不同的基体上进行涂层:一种是电弧法(电弧放电);另一种是溅射法(阴极溅射)。这两种方法都有一个额外的优点:涂层炉比较容易建造。电弧法是通过电源的放电(很像是一道闪电)击中涂层材料,并将这种材料由固体转换为液体,再转换为气体状态。该工艺的优点是沉积率高(相对于溅射法而言)。但是,由于涂层材料处于三种形态(固态、液态和气态),因此有可能会产生一些液滴(微小的液体颗粒)。这些液滴不会转换为气态。
PVD涂层使用喷砂工艺对质量的影响。根据工艺目的,喷砂可分为:(1)表面清洁(2)刃口细化(3)改善钴损失表面(4)涂层后的处理。根据喷砂工艺方法,可分为干喷砂和湿喷砂。根据操作方法,可分为自动喷砂机和手动喷砂机。大多数干式喷砂机配备自动喷砂功能和手动喷砂功能。自动喷砂用于处理滚刀、钻头、插刀等数量大、形状规则的标准工件;手动喷砂用于处理模具等特殊工件。干式喷砂机使用的砂有B4C、SiC、Al2O3(金刚砂)、Si02(玻璃珠)、钢珠、塑料颗粒等。B4C和SiC颗粒太硬,切削力强,喷砂时间稍长,工件尺寸可能超差。此外,工件表面可能会产生额外的冷压,增强应力,涂层更容易剥落;玻璃珠虽硬但脆,易碎,磨损快,使用寿命低;钢珠容易生锈污染工件,塑料颗粒容易粘在工件表面。这两种情况都不容易清洗,增加了涂层质量下降和程序中断的风险。此外,塑料颗粒的切削力太小。对硬质合金几乎没有影响。因此,z适合选择A1203(金刚砂)作为喷砂介质。当然,对于特定的工件,可以选择更合适的喷砂材料。类金刚石涂层是一种在微观结构上含有金刚石成分的涂层。
目前比较常用的两种刀具涂层工艺为化学气相沉积法(ChemicalVaporDeposition)和物理的气相沉积法(PhysicalVaporDeposition)。PVD是在真空条件下,采用电弧放电技术使靶材蒸发并与周围气体一起电离,金属原子通过气相反应过程,利用电场的加速作用,在基体表面沉积出具有某种功能的涂层。CVD沉积温度高达1000-1100℃,超出了许多材料的处理温度,即使采用硬质合金也会产生G相缺陷,另外可用CVD工艺涂层材料的类别较少,应用于切削刀具只TiC、TiN、TiCN、Al2O3等。PVD加工温度一般在250-450℃之间,较CVD处理工艺温度低,不改变基体材料强度,故刃口可刃磨至十分锋利,易切入工件,更有利于切削加工;降低了表面的摩擦系数,减少了因摩擦而引起的弹、塑性变形,减小了切削热的产生量;不使用切削液,对环境影响较小,符合绿色制造发展方向。类金刚石涂层DLC厚度是多少?惠州医疗手术刀头类金刚石应用
类金刚石膜可分为无氢类金刚石碳膜(a-C)和含氢金刚石碳膜(a-C:H)。东莞高精密模具类金刚石加工厂家
DLC兼具了金刚石和石墨的特性,由于含有金刚石成分,涂层硬度高,是普通镀硬铬环或氮化环硬度的2~3倍,具有更高的耐磨损性能,同时由于含有石墨成分,其摩擦系数极低(0.2以下),降低了环对缸套的攻击性,在恶劣润滑条件下提高了环的抗拉缸性能,同时对解决活塞环早期异常磨损效果明显。同为PVD处理方式获得,DLC涂层与CrN硬质涂层比较,其比较为突出的优点是很大程度地降低了活塞环摩擦功耗。在发动机设计时,为了改善发动机的燃油耗,应尽可能地将燃烧能量无损地作为驱动力加以有效利用。减少发动机滑动部件摩擦可直接降低这种能量的损失,它直接关系到发动机燃油耗的改善。资料显示活塞/活塞环部分的摩擦随着发动机转速的升高而增加,在发动机总摩擦损失中占40~50%,而DLC涂层活塞环可有效降低摩擦功耗。东莞高精密模具类金刚石加工厂家
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