珠三角零配件低摩擦DLC涂层原理

浅析制备工艺哪些参数影响中山DLC涂层摩擦系数？离子能量。离子能量即是指偏压，依据相关研讨，跟着偏压升高，DLC涂层含氢量逐渐下降，而且添加sp3含量，可有效改进DLC涂层内应力，增大膜基结合力，其突冲系数远比没有添加偏压时低得多。纤细颗粒。传统阴极弧堆积办法制备的DLC膜外表可能包括很多的纳米/微米颗粒，添加外表粗糙度。经过添加过滤设备(磁过滤器或机械过滤器)对颗粒进行过滤和阻挡，使薄膜功能得以改进。经过直流或射频等离子辅助化学气相堆积、溅射和离子束堆积等办法也可堆积十分润滑的涂层(纳米尺寸外表粗糙度)，然后削减乃至消除机械互锁效应对DLC膜突冲学功能的影响。DLC涂层是工业领域常用的刀具涂层之一。珠三角零配件低摩擦DLC涂层原理

中山类金刚石DLC涂层技术是一种应用于工模具表面改性领域的专业技术。DLC涂层的工业化生产开始于20世纪末。与应用于模具上的硬质涂层(如TiN,TiAlN,CrN,TiCN等)相比是一种崭新的涂层技术。在半导体封装、管脚切割和成形制造过程中，高精度的模具是确保产品品质的关键。模具表面质量又决定了产品优良率、生产效率和产品电学性能等。所以，应用于半导体封装行业的模具不但要求高精度，同时也要求模具刃口件向表面低摩擦因数和高硬度的方向发展，而运用等离子体DLC涂层技术的涂层是这一问题的主要解决方案。珠海低温加硬DLC涂层加工技术DLC类金刚石涂层是一种应用于工模具表面改性领域的技术。

在中山DLC涂层的众多种类中，有一种较为常见的Me-DLC涂层，长久以来在工业领域有很很广的应用。Me-DLC涂层具有有很低的内应力，因此，该种涂层具有很好的涂层结合力。Me-DLC涂层中可以加入多种元素，如如Ti、Nb、Ta和B等，但目前Z常用的方法是加入钨元素（W），形成W-DLC（也可以是W-C:H或者a-C:H:W）。因为与其他元素相比，W-DLC涂层具有相对较低的摩擦系数（通常在0.1～0.2，干式），从而具有很好地耐磨损性能，以及良好的耐滚动接触疲劳性能。豪泽公司生产的此类Endurance涂层典型的沉积温度低于160℃，可以在不软化热敏性钢（如100Cr6）的前提下完成涂层。目前，Endurance涂层一个典型的应用是涂层高规格滚柱轴承。

中山DLC类涂层当中z普遍的是通过各种PA-CVD（等离子辅助CVD，通过射频、微波或其他等离子激i活方式）制备的含氢类DLC。含氢类DLC涂层具有相对高的显微硬度（一般在2000～3000HV）和极低的摩擦系数（0.05～0.15，干式）。通过PA-CVD方法制备的含氢DLC涂层表面粗糙度非常低。Z近，它们已经成为汽车引擎零部件，如梃杆、活塞杆和各种柴油喷射系统零部件涂层的工业标准。另一类DLC涂层，ta-C涂层正在越来越引起人们的兴趣。因为此类涂层具有非常高的硬度及其带来的非常好的耐摩擦性能。另外，无氢类ta-C涂层结合某些润滑剂能够明显减少摩擦，例如在尼桑汽车的发动机气阀机构上就有此类技术的应用。此类DLC涂层一般通过石墨靶的电弧蒸发来获得。涂层的特点是非常高的硬度值，一般在4000～7000HV，并且几乎不含氢。所以常把此类涂层叫做无氢类DLC涂层。在ta-C类DLC涂层中，碳原子以类似水晶体4晶点结构（四面体）为主体。DLC涂层具有导电性强的优点。

中山DLC涂层目前可以通过很多种技术获得，但市面上常用的方法分别是磁控溅射、离子束和电弧技术。实现这三种技术手段依靠的硬件——等离子体源（磁控溅射靶座、离子束源和电弧源），其结构开发设计和装配甚至后续的检验和维护保养等，都是由公司自行完成。星弧应用于活塞环上的DLC主要采用磁控溅射技术和离子束技术多层复合沉积而成。等离子体源在相应的电源和反应气体的共同作用下，将原材料变成大量微观带电的等离子体。这些提供涂层主要成分的等离子体随着镀膜设备内产生的电磁场的分布，有规律地做定向运动，z终在需要沉积的工件位置，逐渐形成宏观可见的、具有一定厚度的涂层。类金刚石DLC涂层具有非常光滑的表面，其表面粗糙度可达到纳米级别，能够减少摩擦阻力和粘附力。珠海低温加硬DLC涂层加工技术

DLC涂层在进行时还须注意DLC涂层的配方，电流密度的挑选以及温度等的调理。珠三角零配件低摩擦DLC涂层原理

反响气源的组成对中山DLC涂层结构影响很大，特别是对DLC涂层的氢气结构有重要影响。首先，原子氢对石墨以及其他非金刚石相碳具有择优刻蚀的效果。堆积金刚石薄膜过程中，在没有超平衡氢原子参与时，甲烷分解为石墨和金刚石键价结构的速率是处于同一个数量级的。可是当甲烷和氢气的混合气体中引入超平衡原子氢后，甲烷的热分解效果和原子氢的刻蚀效果加在一起，就出现了金刚石的成长速率为正，石墨的成长速率为负的情况，即原子氢刻蚀石墨的速度远高于刻蚀金刚石的速度。因而，当反响气源中引入原子氢有利于添加DLC膜中sp3相含量，安稳随机共价键网络，阻止其转化为石墨相。其次，反响气源中氢气比例越高，DLC膜中含氢量越高，越有利于完成超i低突冲系数。经过改变DLC膜中的氢含量，突冲因数可改变几个数量级。珠三角零配件低摩擦DLC涂层原理