深圳次晶态类金刚石加工

AlCrN和TiAlN在制备工艺上存在明显差异。AlCrN是以AlN为基，并复合Cr元素所形成的复合型薄膜。在AlCrN涂层中晶体结构会随着Cr原子的置入，使得晶格常数a增大而晶格常数c减小，并且随着Cr含量的增加，晶体结构会由立方结构向六方结构转变。采用阴极电弧离子镀（AIP）制备AlCrN涂层，当Al的含量在60%-70%时，其晶体结构极易从NaCl(立方)型转变为纤矿(六方)型，这种转变增加了制备工艺控制难度。常温下CrAlN具有更高的硬度，可明显减少磨损和摩擦；而在实际应用中AlCrN则更是表现出优良的抗高温氧化性能，即使温度达到1000℃时其硬度也可保持在27GPa以上。类金刚石膜在热沉、微电子、抗核加固、生物和汽车工业等领域具有重大的应用前景。深圳次晶态类金刚石加工

DLC（金刚石膜）涂层设备主要是（集）直流磁控溅射，中频溅射和电弧离子蒸腾三种技能交融一体，结合线性离化源及脉冲偏压镀膜可使沉积颗粒细化膜层各项功能进步，能在金属制品及非金属外表镀制合金膜、化合物膜、多层复合膜等。DLC涂层设备技能作为一种产生特定膜层的技能，在实际生产日子中有着普遍的使用。DLC涂层设备技能有三种方式，即蒸腾镀膜、溅射镀膜和离子镀。DLC涂层设备是在中间设置真空室，在真空室的左右两侧设置左右大门，蒸腾DLC涂层设备而在其间配装蒸腾设备和磁控设备，DLC镀膜设备可在该双门上预留该两设备的接口，以备需求时换装。DLC涂层具备质量稳定，于基体结合力好，耐磨性好，摩擦系数低，耐腐浊性好等综合优良性能。普遍应用于发动机零部件，有色金属切削刀具，有色金属及不锈钢等成型冲压磨具，滑动密封部件，半导体行业模具，注塑模具，防治行业等。深圳次晶态类金刚石加工类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层具有良好的减摩、耐磨性能,已成为当前研究的热点。

AlCrN涂层的制备需要关注的问题包括：①AlCrN物相织构的有效控制。理想的AlCrN涂层应具备（111）晶面的择优取向；②AlCrN涂层制备过程中，其导电性的影响；③AlCrN涂层表面的光整性及其切削过程中与被加工材料的粘连性。与TiAlN相比略显粗糙，高倍下呈片状或点状结构，并伴有夹杂。常温下CrAlN具有更高的硬度，可明显减少磨损和摩擦；而在实际应用中AlCrN则更是表现出优良的抗高温氧化性能，即使温度达到1000℃时其硬度也可保持在27GPa以上。对于切削刀具的涂层，在切削刃部则易产生堆积。在加工过程中，原始态的AlCrN涂层易于与铁基材料发生粘连，影响加工质量，因此其后处理至关重要。

与任何其他刀具一样，金刚石涂层刀具的寿命也各不相同，主要取决于被切削材料、选用的进给率和切削速度，以及工件的几何形状等。一般来说，加工石墨的金刚石涂层刀具的寿命是未涂层硬质合金刀具的10-20倍，在某些情况下甚至可能更长。这样，就能用一把刀具完成几乎任何加工任务，无需因刀具磨损而换刀，避免了加工中断和重新校准，从而有可能实现无人值守加工。在复合材料的加工中，也完全可能获得较长的刀具寿命。据报道，在加工高密度玻璃纤维、碳纤维和G10-FR4等难加工复合材料时，金刚石涂层刀具的寿命可高达未涂层硬质合金刀具的70倍。类金刚石膜作为光学涂层的应用前景非常好。

目前比较常用的两种刀具涂层工艺为化学气相沉积法（ChemicalVaporDeposition）和物理的气相沉积法（PhysicalVaporDeposition）。PVD是在真空条件下，采用电弧放电技术使靶材蒸发并与周围气体一起电离，金属原子通过气相反应过程，利用电场的加速作用，在基体表面沉积出具有某种功能的涂层。CVD沉积温度高达1000-1100℃，超出了许多材料的处理温度，即使采用硬质合金也会产生G相缺陷，另外可用CVD工艺涂层材料的类别较少，应用于切削刀具只TiC、TiN、TiCN、Al2O3等。PVD加工温度一般在250-450℃之间，较CVD处理工艺温度低，不改变基体材料强度，故刃口可刃磨至十分锋利，易切入工件，更有利于切削加工；降低了表面的摩擦系数，减少了因摩擦而引起的弹、塑性变形，减小了切削热的产生量；不使用切削液，对环境影响较小，符合绿色制造发展方向。详细介绍DLC类金刚石涂层性能及作用。韶关汽车类金刚石加工厂

类金刚石涂层,是一类物理和化学性质类似于金刚石且具有独特摩擦学特性的非晶碳膜。深圳次晶态类金刚石加工

DLC涂层在模具上的应用：①冲压成形模具：凸模、凹模、精密冲裁、压印成形零件等。②注塑成形模具：模腔和型芯、顶杆及各类镶件等。③半导体模具：引脚成形模具的刀口件、封装模具的成形镶件和镶块等。④其他零部件：轴类、齿轮、轴承、凸轮和从动滚轮等。DLC涂层具有高硬度、表面平滑、低磨擦系数、易脱模、耐磨耗、耐酸碱、热导性佳及低温制程等特性。材料的高压冲刷与颗粒很难对其造成损伤，因而远比其它材料更适合应用在模具的保护上，大幅度地增加模具使用寿命。深圳次晶态类金刚石加工

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