江苏半自动探针台公司

手动探针台是一种手动控制的探针台，通常用于没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下。该类探针台的优点是灵活、可变性高，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。手动探针台系统只需要少量的培训，因此非常适合研发人员使用。半自动探针台是一种半自动控制的探针台，可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。与手动探针台相比，半自动探针台的操作相对简单，但需要使用者进行一些简单的操作，如移动晶圆载物台、调整显微镜焦距等。半自动探针台通常需要进行一些预设置，以便能够适应不同的测试环境。探针台的建设需要科学家们共同汇聚自己的智慧。江苏半自动探针台公司

总的来说，手动探针台适合研发人员使用，半自动探针台适合初学者使用，而全自动探针台适合具有一定经验的测试人员使用。不同类型的探针台各有优缺点，选择何种探针台主要取决于测试的需求和个人的技能水平。全自动探针台是一种全自动控制的探针台，可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。相比于半自动探针台，全自动探针台具有更高的精度和效率，可以在短时间内完成大量的测试操作。全自动探针台通常还配备有晶圆材料处理搬运单元(MHU)、模式识别(自动对准)等功能，以确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。全自动探针台通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。河南IC探针台厂商探针台的观测和研究任务需要具备高水平的科研和管理人才。

四探针测试技术，是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上，由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I，然后测量出中间两根探针之间的电压V，就可以求出半导体的电阻率。对于厚度为W（远小于长和宽）的薄半导体片，得到电阻率为ρ=ηW(V/I)，式中η是修正系数。特别，对于直径比探针间距大得多的薄半导体圆片，得到电阻率为ρ= (π/ln2)W(V/I)= 4.532 W(V/I) [Ω-cm]，其中W用cm作单位。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

设计需要提前考虑的方面有：腔体和外部管件的接口 预留位置和接口大小、与外部接线端子的预留位 置和数量、整个腔体端盖的锁紧形式、观察窗口和照明系统的位置和数量、液氮管道的接口形 式、取放片窗口位置和大小，主要包括以下几方面的设计。（1）真空腔体密封性设计；（2）腔体内对特种气体的防腐蚀性、防毒性设计； （3）腔体的电磁屏蔽设计；（4）电气接插头的防潮、防水设计；（5）操作区的安全设计；（6）维修、维护的方便性设计。探针台是推进太空探索和航天事业的重要一环。

承片台结构设计，根据工艺要求，承片台在继承现有抬升机构 稳定性、可靠性的同时，还应具有高低温控特性、低电磁吸收率、抗酸碱腐蚀等特性。设备要求温度 范围为-65～+200 ℃，这就要求承片盘温度在此范围内程控可调。制冷机构和加热机构必须和承 片盘非常接近，能够更大限度地减少能量浪费，以 快速达到所需测试温度。制冷机构和制热机构的 合理设计，可以更好地避免由于温度传导作用引 起其它零部件的温度大幅的变化。腔体内填充一 定浓度的特种气体进行测试，承片台的承片盘及 其他机械构件必须具有耐腐蚀，在承片台结构设 计时，需要在特种环境下对选用的加工件材料和 外购件进行可靠性实验，保证长时间在特种环境 下的有效性。探针台能够探测人类目前尚未发现的天文现象。北京12寸探针台厂商

探针台能够为太空探索提供关键的科研数据。江苏半自动探针台公司

承片台结构设计要具有实现自动对准的兹 向 旋转，兹 向旋转的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圆上的分度精度要臆0.05° ；为了实现与探针的紧密接触稳定地抬升、有效地达到接触 位置的精度，抬升机构的进给精度要高，同时承片 台要具备极高的刚性，而且在150 mm 的台面上 刚度一致是非常重要的。通过在Z 轴方向的往复 移动，实现高刚性、稳定的探针接触。承片台旋转结构在设计上采用THK 超精密 交叉滚柱轴环RB 型（外圈分隔，内环旋转）支撑 旋转。在交叉滚柱轴环中，因圆柱形滚柱在呈 90° 的V 形沟槽滚动面上通过间隔保持器被相互垂直排列。使得单个轴承就可承受径向、轴向及 力矩负荷等所有方向的负荷，具有很高的刚性。又 由于内圈或外圈是分隔的构造，轴承间隙可调整。江苏半自动探针台公司