晶圆测试探针台生产厂家

探针台在使用过程中，不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。工作环境。探针台应放在稳定可靠的台面上，较好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。探针台能够帮助科学家解决在太空探索过程中的技术难题。晶圆测试探针台生产厂家

高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，普遍应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。可选附件：各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线；CCD或C-MOS视频成像装置；Chuck运动装置；电磁铁系统/超导磁铁系统；1Mpa正压系统升级；超高温升级选件；超高真空升级选件；各类探针夹具；屏蔽箱；防振桌；转接头；静音真空泵。北京手动探针台多少钱探针台是专门为探索宇宙而设计的机构之一。

探针台由哪些部分组成？1.样品台（载物台），载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备，重复定位精度达±50纳米，可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位，完成晶圆在量测端的极精密的检测。2.光学元件，这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物，以便精确地将探针先进对准并放置在待测晶圆/ 芯片的测量点上。3.卡盘，有一个非常平坦的金属表面，卡盘用夹具来固定待测物，或使用真空来吸附晶圆。

探针测试台x-y工作台的分类，纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即:以美国EG公司为表示的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。探针台需要高度的保密性和安全措施。

x-y工作台的维护与保养，无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作台都是其较主要的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。平面电机x-y步进工作台的维护与保养，平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台， 动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。探针台的观测和研究任务需要具备高水平的科研和管理人才。北京手动探针台多少钱

探针台的建设需要克服很多技术难题。晶圆测试探针台生产厂家

平面电机x-y步进工作台的维护与保养，平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台， 动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等，用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽，线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命，损坏严重将造成设备无法使用而报废。晶圆测试探针台生产厂家