河南探针台

射频探针：射频探针的本质为适配器，将芯片测量接口转为同轴或波导端口。常见的射频探针有GSG型、GS型、GSSG型等。射频探针的主要参数有高工作频率、探针针尖距（Pitch）等。目前，同轴接口的射频探针频率可达110 GHz（MPI目前适配安利的扩频模块可到220G）波导接口的射频探针频率高达1.1 THz，有一些型号的探针可以选配BiasTee。校准：微波射频在片测试的校准主要是指S参数校准，可以通过使用校准片完成校准。一般的校准片提供开路（Open）、短路（Short）、匹配（Match）、直通（Through）和延迟线（Line）标准件，可完成TOSM校准或TRL校准或SOLT或SOLR或LRM等。探针台拥有先进的天文仪器，可以提供高质量的观测数据。河南探针台

探针台简介：探针台分类，探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动，从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（较低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台，经济手动型，根据客户需求定制，chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可选），X-Y移动行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可选），chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离，显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选），显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选），探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关，可搭配Probe card测试，适用领域：晶圆厂、研究所、高校等。河南探针台探针台是人类探索宇宙、了解自身的一所宝库。

滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养，相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。

自动探针台主要功能：1. TTL专门使用测试仪接口；GPIB/RS232/网络接口（选配）；与测试机连接方便；2. Windows风格界面，动态显示测试过程，MAP图实时显示、存储；3. Map导航功能，map编辑（可编辑标注DIE属性、测试区域）；4. 自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式；5. 图像对准功能，自动扫描，自动首点对准；6. 不良品喷墨打点标记，墨点尺寸Ø0.5mm；7. 分级权限管理；8. 控制打印机打印测试结果；9. 配合上位机，上传并记录测试数据。探针台的运营需要专业的人员和技术支持。

探针台的维护和保养：1.避免碰撞：在安装，操作探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2.仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。3.仪器的存放，使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要**作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。探针台的研究成果不仅对天文学有着重要的意义，还对物理学等学科领域产生了深远的影响。河南探针台

探针台的建设和运行需要具备高度的专业素养和严谨性。河南探针台

探针台如何工作？探针台可以固定晶圆或芯片，并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针先进放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针先进都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆，使用者可以抬起压盘，压盘将探针头与芯片分开，然后将工作台移到下一个芯片上，使用显微镜找到精确的位置，压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程，提高了探针台生产率。河南探针台