合肥芯片共晶机厂商

时间:2024年04月10日 来源:

    槽式清洗机以高效、可靠和批量清洗等特性被应用。随着晶圆尺寸变大和晶圆表面的数字化图形尺寸变小,为了保证晶圆加工的均匀性和终清洗效果,对槽式清洗机的要求越来越高。如何提高晶圆的清洗均匀性是目前一直在研究的重要课题。技术实现要素:本发明的目的在于提供一种晶圆加工固定装置,以提高晶圆的清洗均匀性。本发明的目的还在于提供一种晶圆加工设备,以提供晶圆的清洗均匀性。本发明提供的晶圆加工固定装置,包括安装座、固定架和片盒架,所述固定架可转动的安装在所述安装座上。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。所述片盒架可转动的安装在所述固定架上;所述固定架能够带动所述片盒架一起转动。COC共晶机“共晶台采用电流脉冲加热模块,设有氮气保护系统”找泰克光电。合肥芯片共晶机厂商

    所述升降驱动器的输出端与所述升降板连接,所述承接装置包括至少一个用于承托晶圆的托臂,所述托臂安装在所述升降板上,所述感应装置与所述控制系统电连接,所述感应装置安装在所述托臂上,用于感应晶圆的位置。作为推荐方案,所述升降装置还包括安装板,所述安装板安装在晶圆视觉检测机上,所述升降驱动器通过升降丝杆机构与所述升降板连接,所述升降丝杆机构竖直安装在所述安装板上,所述升降丝杆机构的输入端与所述升降驱动器的输出端连接,所述升降丝杆机构的输出端与所述升降板连接。作为推荐方案,所述托臂通过移动模块安装在所述升降板上,所述移动模块与所述控制系统电连接,所述移动模块安装在所述升降板的顶部且与所述托臂的底部连接,用于驱动所述托臂在所述升降板上沿水平方向来回滑动。作为推荐方案,所述移动模块包括固定板、移动电机和传动组件,所述固定板水平安装在所述升降板上,所述移动电机固定安装在所述固定板上且与所述控制系统电连接,所述移动电机的输出端与所述传动组件的输入端连接,所述传动组件的输出端与所述托臂连接。泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。上海倒装共晶机厂家共晶机/固晶机找泰克光电。

    泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机ce-ad-bb-abe-e电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。本实用新型涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构。背景技术:目前,集成电路产业是我国大力发展的重要科技产业,而晶圆的生产和检测是该产业的基础。晶圆被切割后,非常容易产生诸如污染、划痕和裂纹等缺陷。若这些有问题的次品被流入下一环节,将会地降低芯片的良率。为防止此情况发生,半导体生产车间中一般都设有晶圆视觉检测机,用于检测晶圆的质量。传统的晶圆检测机依靠人工将晶圆搬运至检测台,这样的操作费时费力。现有的晶圆视觉检测机设有夹取机构,其能夹住晶圆,并将晶圆搬运到晶圆视觉检测机的检测装置中。这种夹取机构可以是真空吸盘或其他机械装置。

    然而现有的夹取机构一旦夹得不牢固,晶圆就容易从夹取机构上掉落,造成损坏。例如,一旦真空吸盘发生真空失效的情况,晶圆会从吸盘底部垂直跌落,导致晶圆破损,生产成本较高。技术实现要素:本实用新型的目的是:提供一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构,其结构简单,能避免晶圆跌落的情况发生,降低晶圆的损坏率。为了实现上述目的,本实用新型提供了一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构,其包括控制系统、升降装置、承接装置和感应装置,所述升降装置包括升降驱动器和升降板。泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机ce-ad-bb-abe-e电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。所述升降驱动器安装在晶圆视觉检测机上,所述升降驱动器的输入端与所述控制系统电连接。“高精度半导体芯片共晶机”找泰克光电。

    在外力驱动下实现固定架驱动片盒架的转动。片盒架安装在从动轮盘与行星架的行星轮之间,通过行星架的行星轮与太阳轮以及齿圈的连接,构成片盒架的自转部分。限位轮座安装在底板上、轴承安装在限位轮座上,对驱动轮盘进行限位支撑;横向安装轴安装在竖向杆上,与齿圈固定板的安装凸轴构成与槽体连接的部分。片盒架设置有转动杆,转动杆可在限位盘和第二限位盘之间活动,方便晶圆放置和拆卸。本实施例晶圆加工固定装置通过驱动轮盘带动整体多个片盒架转动,可以使浸泡在药液中的晶圆充分清洗,提高终的清洗效果;且可通过行星轮与齿圈的连接,实现片盒架的自转,使晶圆加工更加均匀;同时,支持多种片盒架,通过更换片盒架形式,可以多个相同晶圆同时清洗,也可实现不同尺寸的晶圆同时清洗。可见,本实施例晶圆加工固定装置在固定架旋转的同时,片盒架还可带动晶圆进行自转,避免槽式清洗中单一的抖动形式,结构紧凑简单,能够提高晶圆加工均匀性和终效果。本实施例还提供一种晶圆加工设备,包括本实施例提供的晶圆加工固定装置。自然。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。泰克光电共晶机源头厂家。合肥芯片共晶机厂商

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    泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。而后通过固定架带动片盒架转动,且片盒架自转,使得片盒架上的晶圆与清洗槽内的清洗液(药液)充分接触,完成晶圆的清洗操作。本发明晶圆加工固定装置由于固定架的旋转轴线与片盒架的旋转轴线是非共线的,所以固定架能够带动片盒架在清洗槽内旋转,使得片盒架能够与清洗槽内的不同位置的清洗液接触,可以使浸泡在清洗液中的晶圆充分清洗,提高终的清洗效果;且片盒架能够自转,使得放置在片盒架上的晶圆的各个位置与清洗液的接触更加均匀,提高了晶圆加工的均匀性,为后续晶圆的加工提高了更好的保障,提高了晶圆的加工精度。本发明提供的晶圆加工设备,包括本发明提供的晶圆加工固定装置,具有与本发明提供的晶圆加工固定装置相同的有益效果,在此不再赘述。附图说明为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案。合肥芯片共晶机厂商

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