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    分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速*为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。干泵国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，**提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa。柳州威克预应力真空泵厂家直销。柳城真空泵网上价格

    抽速从20m3／h～500m3／h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，中国应大力研究开发干泵，使干泵成为中国真空工业新的经济增长点。产品展示旋片真空泵的抽速范围为～150升/秒(1升＝10-3米3)，工作压力范围一般为1×105～1帕，较大抽速的压力范围为1×105～13帕。极限压力：单级泵为1帕,双级泵为×10-2帕。旋片真空泵一般只适于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的气体（对于后者须装气镇阀），不适于抽除含氧过高、性、腐蚀性、对泵油起化学作用和含有固体颗粒的气体。在真空系统中，这种泵可单独使用，或作为增压泵、扩散泵等的前级泵。真空泵环式真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限压力，对于单级泵为～；对于双级泵为～。水环泵也可用作压缩机，它属于低压的压缩机，其压力范围为(1～2)X105Pa表压力(在特定的条件下)。水环泵在石油、化工、机械、矿山、轻工、造纸、动力、冶金、医药和食品等工业及市政与农业等部门的许多工艺过程中，如真空过滤、真空送料、真空脱气、真空蒸发、真空浓缩和真空回潮等，得到了***的应用，由于水环泵压缩气体的过程是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体。柳城定制真空泵柳州有哪里厂家供应真空泵设备。

    6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。结构（1）泵总体结构型式真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。（2）泵的传动方式真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。企业理念：科技，以人为本。

    加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，**好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。9、真空泵的价格、运转及维修费用。机械使用在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。主要性能要求：1.极低的蒸气压这是真空泵油的**重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。威克预应力真空泵质量好，价格实惠。

    同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。主真空泵的选择计算s=(p1/p2)其中：s为真空泵抽气速率(l/s)v为真空室容积(l)t为达到要求真空度所需时间(s)p1为初始真空度(torr)p2为要求真空度(torr)真空泵是一种旋转式变容，真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。真空泵也有如下特点：(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染;(4)压缩比较低，对氢气抽气效果差;(5)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;(6)转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可**降低驱动功率，从而可实现较高转速;目前，真空泵已被***用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。所以，真空泵的好坏决定着我们冶金、化工等行业的发展，那么我们在使用真空泵时就需要注意一些相关事项，**大限度的将它保护好。柳州威克预应力设备欢迎订购。专业的真空泵设备，厂家报价。本地真空泵制造厂家

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    水环式真空泵）2、往复式真空泵3、旋片式真空泵4、旋片式真空泵5、滑阀式真空泵6、余摆线真空泵7、干式真空泵8、罗茨真空泵9、分子真空泵10、牵引分子泵11、复合式真空泵12、水喷射真空泵13、气体喷射泵14、蒸汽喷射泵15、扩散泵等气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。工业中应用**多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。2SK、2SK-P1系列双级水环式真空泵真空泵主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。***用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。JZJS型罗茨——水环泵机组本机组由于采用水环泵作为前级泵，因而特别适用于抽除含有大量水蒸气和带有一定腐蚀性和可凝性气体的工艺过程中。如：真空蒸馏、蒸发、脱水、结晶、干燥等工艺过程中JZJX型罗茨一旋片泵机组(ModelJZJXRoots-SlidingVaneRotaryVacuumPumpSystem)是以罗茨泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成。其结构紧凑，操作方便。适用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体，广泛应用于需要大抽速和高真空的各种真这系统中。如：真空冶炼，电力电容器，变压器。柳城真空泵网上价格

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