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我们是岱美仪器。岱美拿到采购HERZAN公司隔振台的订单,客户是某杰出电脑硬盘盘基片制造商,此高性能的防震台有助于FIB公司推出的Nova600获得更好的分辨率。订单于2008年九月完成。此高性能的防震台由世界杰出的防震专业厂家HEZAN公司提供。AVI系列的防震台设计于结构紧凑,模块化的系统。它是理想的可以加装或整合到一个你已有的仪器设备系统以获得更好性能,它还可以提供在一定大小的范围内和增加额外的模块用来支持你想得到即使是蕞大的负荷。主动隔振范围从1Hz到200Hz,被动隔振超过200Hz,广泛应用于光刻类仪器、光谱分析类仪器、高精密测量系统、超高真空扫描探针显微和电镜及透射电子显微镜等系统。使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。研究所隔振台联系电话
传感器位置传感器可以移动到任何期望的位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元素的同一表面上。制作后连接时,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支撑面的刚性支撑表面的刚性很重要。水平传感器无法区分在水平加速度和倾斜之间。LFS和因此,AVI元素所在的位置必须尽可能坚硬,以使其不会明显倾斜当人们在附近移动时。倾斜会导致传感器输出饱和并失去隔离。运作方式设置好并将电源连接到传感器后,就可以使用系统了。按下电源上的电源旋钮打开电源。绿色LED将点亮。红色LED开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在,您可以通过按启用按钮来启用系统。红色LED不应点亮了。如果它们点亮,则表示系统过载且振动建筑物中存在的物体太严重。请注意,如果未启用LFS,则它将无效。敏感的传感器单元,请勿撞击,敲打或跌落!中芯国际隔振台推荐产品LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。
使用说明书解锁系统后,将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。调整负载补偿:将负载放在蕞上面,并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板!更改负载后,检查每个角是否自由移动!将电源插头连接到背面的输入电源插座。按下背面的电源按钮打开设备“POWER”LED将点亮,而“ACTIVE”LED开始闪烁。大约30秒钟后,“活动”LED将保持点亮状态,并且系统现在可以使用了。您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。
TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振从0.7Hz到100Hz在21世纪纳米技术(即先进的半导体带表相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产),振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑制因素。在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS系列”将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。装载设备:扫描电子显微镜,如AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,医疗检测设备等。HERZ在被动式隔振系统产品之外,补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。
HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低频感应器LFS-3性能LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz.感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。LFS-3性能使用测振仪的V档并有50公斤的重量下测试的。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有独力的防振单元和控制器。研究所隔振台联系电话
AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。研究所隔振台联系电话
AVI200-SAVI200-S的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元,蕞大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量,可以轻松承受更高的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用,可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。AVI200-M的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI200-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI200-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI200-M隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程技术指标:频率:1.2-200Hz负载范围:0-400千克(0-200千克单个元件)研究所隔振台联系电话
岱美仪器技术服务(上海)有限公司是以提供半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪内的多项综合服务,为消费者多方位提供半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,公司成立于2002-02-07,旗下EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi,已经具有一定的业内水平。岱美中国致力于构建仪器仪表自主创新的竞争力,多年来,已经为我国仪器仪表行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。
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