浙江晶圆隔振台

时间:2022年07月01日 来源:

1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。浙江晶圆隔振台

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所有控制电路都内置在该单元钟功耗小于2.5W。该设备具有通用输入,可以连接到100至240VAC的任何交流电源。优化设计以实现对诸如扫描探针显微镜(AFM,STM),干涉仪和其他高分辨率仪器,从而使这些仪器能够达到蕞终的性能。事实证明,该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。技术指标:频率:1.2-300赫兹负载范围:0-40公斤尺寸图300x300x70毫米(长x宽x高)11.8x11.8x2.75英寸隔离:动态1.2Hz至300Hz,主要在较高频率下为无源透射率:高于〜10Hz的透射率<0.01(-40dB)矫正力:垂直±8N,水平±4N静态合规性:27µm/N最大负载(中心负载):40公斤88.18磅重量:9.2公斤20.3磅浙江隔振台代理价格安装好后参数不需要调整。

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技术指标:频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米隔离:动态(超过1kHz)透射率:参见附件曲线10Hz以上的透射率<(-40dB)矫正力:垂直+/-8N水平+/-4N静态合规性:大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N最大负载:140公斤尺寸:500x600x84毫米重量:28.5kg电的安全等级:1个能量消耗:蕞大10W负载调整时20W输入电压:115-230VAC+/-10%50-60Hz超载:显示屏指示负载过重或严重失衡监控信号:示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-瑾用于诊断目的前面板显示菜单:显示仪器状态,包括:-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线桌上尺寸:500x600毫米。

1、使用2mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。2、根据扫描电镜的重量调整模块。在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在中间止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm3.装回模块上的端板AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。

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LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统?传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。控制中心有超载指示灯。福建隔振台技术原理

从低频率起提高一个隔振环境。浙江晶圆隔振台

传感器LFS-3有一个单独的电源,通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。用D-Sub25电缆将电源连接到传感器。每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座(诊断插座)连接到传感器设置并将电源连接到传感器后,系统即可使用。按下电源上的电源旋钮,打开电源。绿色的LED将亮起。红色的发光二极管开始闪烁,这意味着存在一些振动。现在您可以通过按下启用按钮来启用系统。红色的发光二极管不应该再亮了。如果它们亮了,那意味着系统超载,建筑物内的振动太严重。浙江晶圆隔振台

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