台积电隔振台技术支持

LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中，以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定，并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336（电磁兼容性）每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座（诊断插座）连接到传感器。AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式。台积电隔振台技术支持

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统？传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。氮化镓隔振台保修期多久AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。

TS-300TS系列产品中蕞大的系列，比TS-140/TS-150更大。在公制（M6x25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。频率负载范围TS-300负载范围TS-300LT尺寸图0,7-1000赫兹0-300公斤0-120公斤600x800x120毫米TS-300结合了久经考验的技术卓悦性和优雅且用户友好的设计TS-300的隔离始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40dB缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

TS-140+40TS-140+40结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。在公制（M6x25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。TS-140+40结合了久经考验的技术卓悦性与优雅且用户友好的设计TS-140+40的隔离始于0.7Hz，超过10Hz后迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾为28.5千克TS-C系列具有通用输入，可以连接到100至240 VAC 的任何交流电源。

TS特点：◎在全部的6个自由度范围内，从0.7Hz到100Hz，TS系列产品提供优良的主动隔振性能。◎当仪器装载时，高度调整会自动进行。◎即使当负载偏离中心时，自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时，给予稳定性。◎通过按下前方的按钮，系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。高校隔振台参数

测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持蕞佳的隔振状态。台积电隔振台技术支持

AVI400-SAVI400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-S的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。技术指标：频率：1,2-200Hz负载范围：0-800公斤（单个）：400公斤台积电隔振台技术支持

岱美仪器技术服务（上海）有限公司是以提供半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪为主的其他有限责任公司，公司位于金高路2216弄35号6幢306-308室，成立于2002-02-07，迄今已经成长为仪器仪表行业内同类型企业的佼佼者。公司承担并建设完成仪器仪表多项重点项目，取得了明显的社会和经济效益。多年来，已经为我国仪器仪表行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。