陕西超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍

相较于机械法，透过激光划线及切割晶圆的方法仍处于发展阶段。随着晶圆直径加大、激光器更为便宜且产能增长，其生产优势也***提升。本文将探讨激光切割晶圆的许多研究，包含使用具有各种波长范围辐射[8,9]、不同脉冲宽度（飞秒、皮秒至纳秒[10-13]）与功率之激光。惟上述加工皆未将切割厚度200µm以上的晶圆列入考虑。已确知脉冲频率愈高，切割速度愈快，为材料内部能量分布增加所致。然每一发脉冲烧蚀深度的增加会引发如熔化、裂纹、非晶化和残余应力积累等热影响。将晶圆分离为芯片时，这些热影响导致芯片强度降低，损坏表层薄膜与敏感的电子器件。无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备的优势。陕西超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍

晶圆激光切割与传统的机械切割法相比，这种新的方法有几个重要的优点。首先，这是一步即可完成的、干燥的加工过程。边缘光滑整齐，不需要后续的清洁和打磨。并且，激光引致的分离过程产生**度、自然回火的边缘，没有微小裂痕。使用这种方法，避免了不可预料的裂痕和残破，降低了次品率，提高了产量。因为裂痕是**地沿着激光光束所划出的痕迹，激光引致的分离可以切划出非常**的曲线图案。我们所做的实验也证明了无论直线或是曲线，激光切割都能连续地、**地完成设定图案，重复性可达＋50μm。所以激光可以进行曲线图形的**切割。激光切割晶圆有速度快、精度高，定位准确等明显优势。陕西超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍超快激光玻璃晶圆切割设备的制作方法难吗？无锡超通智能告诉您。

激光划片是利用高能激光束照射工件表面，使被照射区域局部熔化、气化，从而达到去除材料，实现划片的过程。激光划片是非接触式加工，无机械应力损伤，加工方式灵活，不存在刀具损耗和水污染，设备使用维护成本低。为避免激光划透晶圆时损伤支撑膜，采用耐高温烧蚀的UV膜。目前，激光划片设备采用工业激光器，波长主要有1064nm、532nm、355nm三种，脉宽为纳秒、皮秒和飞秒级。理论上，激光波长越短、脉宽越短，加工热效应越小，有利于微细精密加工，但成本相对较高。355nm的紫外纳秒激光器因其技术成熟、成本低、加工热效应小，应用非常***。近几年1064nm的皮秒激光器技术发展迅速，应用到很多新领域，获得了很好的效果。

试验表明，在其他参数不变的情况，频率小于10kHz时，划片声音尖锐刺耳，划片深度较浅，划片宽度较宽频率增大，划片深度增加，划片宽度减少。当频率达到50kHz时，划片深度比较大当频率继续增大，划片深度开始减小。这是由于，在较小的频率下，虽然单个脉冲的峰值功率高，但是总体平均功率处于较低水平，虽然切割范围大，但却无法达到理想深度频率增大以后，单个脉冲峰值功率有所下降，但是总体平均功率持续升高，到达临界频率时，可以得到较理想的划片深度和较窄的划片宽度再增大频率，单个脉冲的峰值功率偏低，不足以对硅片进行“切割”，即使平均功率很高，划片深度也趋于变小。寻找超快激光玻璃晶圆切割设备的专业生产厂家。

芯片制造的工艺复杂、流程众多，而晶圆切割就是半导体封测工艺中不可或缺的一道工序，晶圆切割就是将单一晶圆进行切割制作成一个个晶粒单元，但由于晶粒本身比较脆弱、相互之间距离小，并且切割时还需要注意晶粒不被污染、避免出现崩塌或者裂痕现象，因此晶圆切割对于技术和切割设备的要求都极高。在晶圆切割过程中，通常要用到的一项精密切割设备就是晶圆切割机，晶圆切割机可使安装在主轴上的砥石高速旋转，从而切断硅晶圆。近几年，随着激光技术的发展，激光切割机逐渐成为了芯片制作领域的研究热点。由于激光切割为非接触式加工过程，其不仅切割精度高、效率高，而且可以避免对晶体硅表面造成损伤，大幅提升芯片生产制造的质量和效率。无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备质量保证。陕西超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍

无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备品质保障。陕西超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍

硅材料对红外透过率很高，所以硅的隐形切割设备，通过选用短脉冲红外激光器，将激光脉冲聚焦到硅衬底内部，实现隐形切割。激光隐形切割是非接触式切割，解决了砂轮切割引入外力冲击对产品破坏的问题。不过一般设备的激光隐形切割形成的改质层区域会使材料变得酥脆，还是会形成少量细小硅碎屑掉落，虽然碎屑数量远少于砂轮切割，如前文所述，MEMS晶圆因为无法通过清洗的方法去除细小硅碎屑，故这些碎屑将对芯片造成破坏，影响良率。超通智能生产的硅晶圆激光切割设备，选用自制的红外激光器和自主开发的激光加工系统，实现硅晶圆的隐形切割，该设备能够很好的控制隐形切割后碎屑的产生，从而满足***MEMS晶圆切割的要求，保证切割良率陕西超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍

无锡超通智能制造技术研究院有限公司致力于机械及行业设备，是一家生产型的公司。公司业务涵盖激光标机及极限制造装备，细分领域的制造产线垂直整，面向装备的工业软件，面向产线的管控软件等，价格合理，品质有保证。公司从事机械及行业设备多年，有着创新的设计、强大的技术，还有一批专业化的队伍，确保为客户提供良好的产品及服务。超通智能凭借创新的产品、专业的服务、众多的成功案例积累起来的声誉和口碑，让企业发展再上新高。