山东国产超快激光玻璃晶圆切割设备厂家报价

由于以往我国半导体芯片产业薄弱，激光加工芯片的研究和应用偏少，而是首先在下游消费电子产品终端组装得到了一些应用。未来我国的精密激光加工主要市场将会从一般电子零部件加工逐渐往上游材料和**元件移动，尤其是半导体材料、生物医疗、高分子聚合物材料等制备。半导体芯片产业的激光应用工艺将会越来越多被发明出来，对于高精密的芯片产品，非接触的光加工是**合适的方式。凭着庞大的需求量，芯片产业极有可能将会托起下一轮精密激光加工设备的需求热潮。超快激光玻璃晶圆切割设备有哪些种类？无锡超通智能告诉您。山东国产超快激光玻璃晶圆切割设备厂家报价

划片速度决定了激光聚焦在晶圆上划片槽某一区域的时间，也就是决定了在某一区域内输入的划片功率，因此会直接影响划片深度和划片宽度。值得一提的是，激光光斑对划片槽区域硅材料切割线可以看成是一个又一个光斑切割微圆叠加而成的，较高的频率和适当的速度可以得到致密、均匀的切割痕迹，速度太快或频率不足则相邻两个切割微圆的圆心较远，芯片切割边缘呈巨齿状，切割质量下降。所以，划片功率、频率、速度等参数共同影响了划片宽度、划片深度、划片质量等划片的关键指标。河北品质超快激光玻璃晶圆切割设备价钱无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备诚信经营。

激光划片在晶圆加工方面具备以下优势：1.激光划片采用的高光束质量的光纤激光器，对芯片的电性影响较小，可以提供更高的划片成品率。2.激光划片速度为150mm/s。划片速度较**.激光可以切割厚度较薄的晶圆，可以胜任不同厚度的晶圆划片。可以切割一些较复杂的晶圆芯片，如六边形管芯等。4.激光划片不用去离子水，可24小时连续作业5.激光划片具有更好的兼容性和通用性。超通智能在激光晶圆处理上就具备丰富的经验，如刀轮切割设备，外观尺寸小型化，占地面积小，切割行程**功率主轴，高速高精度电机，闭环运动控制，确保生产效率。

设备介绍超快激光玻璃晶圆切割设备，配备好品质皮秒激光器，通过超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圆内部产生非线性自聚焦效应，达到激光成丝切割的效果。该设备还可应用于各类透明脆性材料的快速划线、切割。二、设备特点Ø高性能皮秒激光器具有超高峰值功率、高光束质量和稳定性、超窄脉宽，聚焦光斑极小，*2-3μm，采用全新的贝塞尔激光成丝技术，可实现3mm玻璃晶圆一刀切；Ø采用高精密直线电机和全闭环光栅检测控制系统，加工台面可达400×400mm，保证稳定高效生产；Ø配备高像素视觉定位系统，可抓取各类Mark点及轮廓，实现高精度图像定位加工；Ø采用天然大理石的机床基座、高刚性结构设计以及减震机床脚杯，很大程度减轻加速过程中产生的惯性震动，并可有效防止环境温度变化引起的床身精度变化。超快激光玻璃晶圆切割设备的选材要求是什么？无锡超通智能告诉您。

主要性能参数产品型号CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波长1064 nm激光器脉宽10 ps平均峰值功率50W切割头切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩边<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平台参数平台形式XY直线电机基座高精度大理石平台加工范围400×400 mm（可定制）定位精度±3 um重复定位精度±2 um比较大速度1000 mm/sCCD工业相机600W镜头远心镜头系统属性支持文件格式DXF等常规CAD格式环境要求温度：20-30℃，湿度：<60%电力需求380V/50Hz/10KVA无锡超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备的优势。山东国产超快激光玻璃晶圆切割设备厂家报价

超快激光玻璃晶圆切割设备的应用范围十分广阔。山东国产超快激光玻璃晶圆切割设备厂家报价

硅材料对红外透过率很高，所以硅的隐形切割设备，通过选用短脉冲红外激光器，将激光脉冲聚焦到硅衬底内部，实现隐形切割。激光隐形切割是非接触式切割，解决了砂轮切割引入外力冲击对产品破坏的问题。不过一般设备的激光隐形切割形成的改质层区域会使材料变得酥脆，还是会形成少量细小硅碎屑掉落，虽然碎屑数量远少于砂轮切割，如前文所述，MEMS晶圆因为无法通过清洗的方法去除细小硅碎屑，故这些碎屑将对芯片造成破坏，影响良率。超通智能生产的硅晶圆激光切割设备，选用自制的红外激光器和自主开发的激光加工系统，实现硅晶圆的隐形切割，该设备能够很好的控制隐形切割后碎屑的产生，从而满足***MEMS晶圆切割的要求，保证切割良率山东国产超快激光玻璃晶圆切割设备厂家报价