罗茨螺杆机组旋片机组代理企业

螺杆真空泵的结构：传动轴连接主动转子，通过同步齿轮带动从动转子旋转，在壳体上开有冷却水通道，用来冷却转子和排气口温度，同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似，一般真空泵的排气端用机械式密封件，进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上，通用的是直连电机，用联轴器与转子连接，极少数用皮带或者传动链传动。等螺距螺杆泵由于无内压缩过程，排气温度非常高，如冷却效果不好，会造成转子和机壳变形，影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节，水冷是比较常见的方法，在机壳本体、轴承外侧通冷却水，可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。真空泵的返流率：泵的返流率单位是g/cm2.s。罗茨螺杆机组旋片机组代理企业

目前国内外的罗茨真空泵，多数为卧式结构，泵的进气口在上，排气口在下，这种卧式结构重心低，高速运转时稳定性好。罗茨泵的两个转子是通过一对高精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。泵的传动多为直联式的，大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮，多设在转子轴的两侧，安装拆卸方便。主动轴传递的扭矩较大，轴要有足够的强度和刚度，轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键，主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封，泵腔与各端盖设有静密封。单级油旋片真空泵代理商比较大允许水蒸气入口压强：比较大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。

分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵油的光滑性：摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等，都与光滑条件有关。表现佳的真空泵油有利于抑止腐蚀磨损；能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损；流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用，也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源，减少磨损，以延长机械寿命。真空泵油的降温冷却性能降低摩擦面的温度是光滑的一个重要作用。摩擦面运动时必需克制摩擦力而作功，耗费在克制摩擦力上的功全部转化为热量，其结果将惹起摩擦面温度上升。摩擦热的大小与光滑状态有关，粘度高的热量比较大，粘度低的热量比较小，而边境摩擦的热量则介于两者之间。由此可见，用适宜粘度的真空泵油不只能够完成液体光滑，减少摩擦热的产生，而且还能够将摩擦热及时地带出泵体外。专注真空泵技术，德迈克科技，让每一滴能源都用在刀刃上。

就目前而言，国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，极大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。德迈克节能科技，以科技力量，驱动真空泵行业绿色转型。双极真空泵代理企业

真空泵油是一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油，分矿物油和合成油两种。罗茨螺杆机组旋片机组代理企业

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择的真空获得设备，日本在螺杆压缩机基础上，很早就研发出了真空泵的多头转子型线，并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产，在化工制药等行业得到很好的应用。在1999年底正式推出的螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵，它是一种全新的设计，是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题，如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，极大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命长。罗茨螺杆机组旋片机组代理企业