芜湖电子净化工程

时间:2024年05月02日 来源:

    3、测点布置:①检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米。②层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为,粒径大于或等于μm的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点布置一洁净工作区内。③乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米,增加3-5个测点。4、数据整理:①每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。②对于大于或等于μm的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点大值,乱流洁净室取各测点的平均值。(四)正压值测定应采用精度可达。三、动态测试在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。等级级别等级的划分一般在洁净室是有等级的,采用多种工序操作时,应根据各工序不同的要求,采用不同的空气洁净度等级,依据工序要求确定等级。医药工业药生产工序的洁净级别和洁净区的划分,应参照《药品生产质量管理规范》中制剂和原料药工艺内容及环境区域划分而定。药品生产洁净室的空气洁净度划分为四个等级。在满足生产工艺要求的前提下,首先应采用低洁净等级的洁净湿或局部空气净化。洁净室的洁净度水平应根据生产工艺和产品要求进行调整和优化。芜湖电子净化工程

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   其防烟楼梯间、前室、共用前室、合用前室(除共用前室与消防电梯前室合用外)及消防电梯前室应采用自然通风系统;当不能设置自然通风系统时,应采用机械加压送风系统。防烟系统的选择,尚应符合下列规定:1当前室或合用前室满足下列条件之一时,楼梯间可不设置防烟系统:1)采用全敞开的阳台或凹廊;2)设有两个及以上不同朝向的可开启外窗,且前室两个外窗面积分别不小于2.0m2,合用前室两个外窗面积分别不小于3.0m2。2当前室、共用前室及合用前室的机械加压送风口设置在前室的顶部或正对前室入口的墙面时滁州半导体净化工程设备洁净室内的设备布置应合理紧凑,减少空气流动阻力和尘埃的产生。

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    人员的活动也可以使单向流变成紊流。在这些紊流中。由于风速较低,空气稀释程度较小,从而使得污染浓度较高。因此,必须将风速保持在(60英尺/分钟至100英尺/分钟)的范围里,以便使中断的单向流能快速恢复,充分稀释障碍物周围紊流区的污染。用风速可以正确地表示出单向流,因为风速越高室内就越洁净。而每小时换气次数与房间的体积有关,如吊顶的高低,因此不适合用来表示单向流。单向流室内的送风量是紊流室的很多倍(10到100倍)。净化工程控制编辑洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了,所以必须有±,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。

    1)送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比。要求速度衰减更快,扩散角度更大。(2)吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干。对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室,由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准,采用.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,也都在探求降低风速的可行性。在我国,《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范)都是这样规定的垂直平行流(层流)洁净室≥水平平行流(层流)洁净室≥m/s噪声控制洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是:1.烦恼的效应由于噪声,使人感到不安宁而产生烦恼情绪,一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹,比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者,即为高烦恼,高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。2.对工作效率的影响这主要看三方面的反应水平,这三个方面是:集中精神,动作准确性,工作速度。物理性净化和化学性净化是净化工程的两大分类,各有其独特的应用场景。

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    已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于地位。光学微电子净化工程一般包括:1、洁净生产区2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)3、管理区(包括办公、值班、管理和休息)4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)材料1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。光学微电子净化工程解决方案:净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程。洁净室的墙面和地面材料应具有抗静电、易清洁和耐磨损等特性。江苏空调净化工程等级

洁净室的入口应设置风淋室或气闸室,以减少外界空气和尘埃的进入。芜湖电子净化工程

    往往须耗时相当长一段时间。层流式。Laminar)等级名称等级限值μmμmμmμm5μm容积单位容积单位容积单位容积单位容积单位国际单位英制单位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。复合式。芜湖电子净化工程

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