蒸镀机系列-FS500设计

真空镀膜机镀膜技术在工业中的应用：采用真空镀膜技术代替传统的电镀技术，不仅可以节省大量的薄膜材料，降低能源消耗，而且可以消除湿法镀膜对环境的污染。因此，国外已采用真空镀膜工艺代替电镀工艺。在冶金工业中，对钢和带钢添加渗铝保护层是很常见的。在机械制造中，真空镀膜技术改变了一定的加工工艺，节省了宝贵的原材料，如飞机涡轮发动机叶片没有昂贵的高温金属制造，而是使用廉价的材料，成型后再采用真空镀膜的方法在叶片表面涂上耐高温、耐腐蚀的保护层。例如，在汽车制造行业，使用塑料制品的金属化零件代替各种金属零件，这样不仅减轻了汽车的重量，而且节省了燃料的消耗。在金属刀具上添加TiN硬膜可使刀具寿命提高3~6倍，从而节省大量高速钢。塑料薄膜采用真空镀膜和镀铝等金属薄膜的方法，然后染色，可用于工业装饰薄膜。真空镀膜机排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。蒸镀机系列-FS500设计

真空镀膜机的真空涂层技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将CVD（化学气相沉积）技术应用于硬质合金刀具上。由于该技术需在高温下进行（工艺温度高于1000ºC），涂层种类单一，局限性很大，起初并未得到推广。到了上世纪七十年代末，开始出现PVD（物理的气相沉积）技术，之后在短短的二、三十年间真空镀膜机的PVD涂层技术得到迅猛发展，究其原因：（1）其在真空密封的腔体内成膜，几乎无任何环境污染问题，有利于环保；（2）其能得到光亮、华贵的表面，在颜色上，成熟的有七彩色、银色、透明色、金黄色、黑色、以及由金黄色到黑色之间的任何一种颜色，能够满足装饰性的各种需要；（3）可以轻松得到其他方法难以获得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂层、复合涂层，应用在工装、模具上面，可以使寿命成倍提高，较好地实现了低成本、收益高的效果；（4）此外，PVD涂层技术具有低温、高能两个特点，几乎可以在任何基材上成膜，因此，应用范围十分广阔，其发展神速也就不足为奇。蒸镀机系列-FS600设计真空镀膜机的一个重要组成部分是采用扩散泵抽真空。

真空镀膜设备应用很广，如今在我们的生活中到处可见，是很重要的一个设备。但是设备在使用一段时间后，表面就会留下灰尘影响真空镀膜的整体效果。那么如何减少灰尘的出现呢？1、真空镀膜设备使用的源材料要符合纯度要求。2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。3、真空镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。4、真空镀膜清洗衬底材料，要做到严格合乎工艺要求。5、真空镀膜适当的增加环境的湿度，利于减少周围环境的悬浮固体颗粒物。6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要穿戴服装。

真空镀膜机的发展趋势：利用真空镀膜设备可以有效的改善电镀的污染状况，它不像化学电镀会用重金属溶液和酸溶液进行镀膜，而是采用真空下蒸发或溅射镀膜的形式无污染，是一种绿色低碳、符合行业的可持续发展战略，越来越多的企业淘汰了传统的化学电镀方式，转而采用真空电镀，但仍有很多企业没有意识到环保的重要性，不明白绿色生产其实是为了给自己和后代创造更好的生活环境。绿色环保产业是发展的必然趋势。造成严重污染的化学电镀将退出历史舞台，由真空电镀取代。目前，真空镀膜行业使用的主要是塑料件，如ABS塑料电镀设备，但真空镀膜机逐渐成为主流是毫无疑问的。真空镀膜机主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、PLD激光溅射沉积等多种。

真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。将基片放入真空室内，以电阻、电子束、激光等方法加热膜料，使膜料蒸发或升华，气化为具有一定能量（0.1～0.3eV）的粒子（原子、分子或原子团）。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至基片，到达基片表面的粒子一部分被反射，另一部分吸附在基片上并发生表面扩散，沉积原子之间产生二维碰撞，形成簇团，有的可能在表面短时停留后又蒸发。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞，或吸附单粒子，或放出单粒子。此过程反复进行，当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核，再继续吸附扩散粒子而逐步长大，然后通过相邻稳定核的接触、合并，形成连续薄膜。真空镀膜机是在真空室中利用电阻加热法。广东蒸镀机原理

真空镀膜机是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。蒸镀机系列-FS500设计

真空镀膜机的维修方法介绍：当正在镀膜时真空度突然下降：1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）；2、坩埚被打穿（更换坩埚）；3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）；4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）；8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）；9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）。蒸镀机系列-FS500设计

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