南宁蒸镀机系列-FS600

真空镀膜机各部件的组成及其工作原理：一、真空主体——真空室根据加工产品的要求差异，大小也不一。目前应用较广的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成，不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀，用于连接各种泵。二、辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0*10-2pa的低真空状态，为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提，然后在扩散泵的真空室抽吸时，机械泵与油扩散泵串联，完成抽吸作用。真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。南宁蒸镀机系列-FS600

真空镀膜机镀膜技术在工业中的应用：采用真空镀膜技术代替传统的电镀技术，不仅可以节省大量的薄膜材料，降低能源消耗，而且可以消除湿法镀膜对环境的污染。因此，国外已采用真空镀膜工艺代替电镀工艺。在冶金工业中，对钢和带钢添加渗铝保护层是很常见的。在机械制造中，真空镀膜技术改变了一定的加工工艺，节省了宝贵的原材料，如飞机涡轮发动机叶片没有昂贵的高温金属制造，而是使用廉价的材料，成型后再采用真空镀膜的方法在叶片表面涂上耐高温、耐腐蚀的保护层。例如，在汽车制造行业，使用塑料制品的金属化零件代替各种金属零件，这样不仅减轻了汽车的重量，而且节省了燃料的消耗。在金属刀具上添加TiN硬膜可使刀具寿命提高3~6倍，从而节省大量高速钢。塑料薄膜采用真空镀膜和镀铝等金属薄膜的方法，然后染色，可用于工业装饰薄膜。真空镀膜机厂商降低真空镀膜设备室内空气流动性低、需尽量减小室外灰尘侵入。

真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求，一般包括真空设备对所处实验室（或车间）的温度、空气中的微粒等周围环境的要求，和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用；而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘，在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气，要达到预期的真空度很难的。

真空镀膜机镀塑料时抽真空时间过长主要原因就是：1、真空室有漏气现象：大家都知道，多弧离子镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的，若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置，则真空镀很长时间都不能抽得上来的；2、即使真空室没有漏气，因为塑料产品的放气量大，所以抽真空，溅控溅射镀膜机特别是高真空很难达到。而且由于塑料产品的放气，造成真空室内镀膜气体的不纯，有杂气的存在，造成镀膜产品的颜色发暗，发黄，发黑等。真空镀膜机抽气不均会影响镀膜均匀性，基片干净很重要。

真空镀膜应用属于一种干式镀膜，它的主要方法包括以下几种：1、真空蒸镀，其原理是在真空条件下，用蒸发器加热带蒸发物质，使其气化或升华，蒸发离子流直接射向基片，并在基片上沉积析出固态薄膜的技术。2、溅射镀膜，溅射镀膜是真空条件下，在阴极接上2000V高压电，激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。3、离子镀膜，即干式螺杆真空泵厂家已经介绍过的真空离子镀膜。它是在上面两种真空镀膜技术基础上发展而来的，因此兼有两者的工艺特点。在真空条件下，利用气体放电使工作气体或被蒸发物质（膜材）部分离化，并在离子轰击下，将蒸发物或其反应物沉积在基片表面。在膜的形成过程中，基片始终受到高能粒子的轰击，十分清洁。真空镀膜机必须使用机械泵、机械泵也被称为前级泵。杭州蒸镀机系列-FS300

真空蒸镀中的镀层通常为铝膜，但其它镀层也可通过蒸发沉积形成。南宁蒸镀机系列-FS600

为什么真空镀膜设备要配套冷水机？冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜设备的温度，使其工作到高精度、高效率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下，自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是不稳定的。因此，可以说冷水机是设备中很重要的配套冷却设备，因为冷水机直接关系到其工作效果的好坏。这个要从真空镀膜设备的工作原理查看：膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽，结合力也很差。冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统，水温在5℃～30℃范围内调节控制，可以到高精度、高效率控制温度的目的。其冷却原理是：制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜设备进行降温，冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，起到冷却的作用。南宁蒸镀机系列-FS600

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