蒸镀机系列-FS-G1-3设计

真空状态是支持真空镀膜机运作的环境，特别是需要高真空度的设备，通常我们需要达到高真空度，抽气系统的作用是功不可没的，但除了抽气系统外，在真空镀膜设备运行的过程中，还有一点就是，工件的除气。有些工件它本身内部存在着很多的气体、水分等，这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中，降低了真空度，更甚者，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。另外，正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常必要的。真空镀膜机设计焊缝结构的时候，接头一定要焊透，应该避免产生聚集污物的有害空间。蒸镀机系列-FS-G1-3设计

真空镀膜机设备表面处理的基本方法：1、溶剂脱脂，附着在真空设备零件上的油可分为动植物油和矿物油。动植物油可用碱溶液化学法除去，矿物油可用有机溶剂除去。然而，在实际的清洗设备中，通常使用两种溶剂。2、酸碱侵蚀处理，设备除油后，金属表面的氧化物可用酸蚀或碱蚀去除。热处理后，设备零件无油污。真空退火后可直接进行酸/碱腐蚀去除氧化层污染。3、电化学清洗和电解抛光，介绍了电化学清洗的原理和配方，指出电解抛光的电解液不同于电解蚀刻液。电化学抛光的电解液配方和抛光规范如下：1.正磷酸（HPo）：65%（质量百分比）；2.硫酸：15%；3.铬酸（CRO）：6%；4.去离子水：14%；5.电流密度：0.2~0.5a/cm2；6.电压：6~12V；7.工作温度：约75°C；8.时间：5～10min。电抛光后，将零件放入2%-5%氨水中15s-20s，用水冲洗，用无水乙醇脱水，干燥。蒸镀机系列-FS-G1-3设计真空镀膜机的结构焊缝不应与密封焊缝相交叉。

真空镀膜机的维修方法介绍：当正在镀膜时真空度突然下降：1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）；2、坩埚被打穿（更换坩埚）；3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）；4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）；8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）；9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）。

蒸镀机的基本原理：（1）加热蒸发过程：包括由凝聚相转变为气相的过程，每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压。（2）气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输，即原子或分子在环境气氛中的飞行过程。（3）蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发，凝聚，成核，核生长，形成连续的膜。由于基板温度远低于蒸发源温度，因此，气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程。真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀）是在真空条件下，加热蒸发容器中待蒸发的材料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸汽流，入社到衬底或基底表面，凝结成固态薄膜的方法。检查真空镀膜机电路各控制开关能否正常断开闭合，电压指示380±20V。

真空蒸镀使用的加热方式主要有：(1)电阻加热：电阻加热源是普遍使用的蒸发源，它结构简单、操作方便。典型的导电加热体材料有钨、钽、钼和碳等。导电加热体的电阻加热通常采用低电压（<10V）、大电流（几百安培）加热方式。可根据蒸发材料的性质以及蒸发源材料的浸润性加以选用。(2)电子束加热：电子束加热法的基本原理是基于由热阴极发射的电子在电场作用下，获得动能轰击到作为阳极的蒸发材料上，将其动能转化为加热材料的内能而使材料蒸发。由于聚集电子束的能量密度大，可使材料表面局部区域达到3000℃～4000℃的高温，适于蒸发高熔点金属、化合物材料和要求高蒸发速率的场合。(3)射频感应加热：感应加热是将射频电源的能量直接耦合到金属、石墨一类的导体上，其原理是利用高频电磁场在导体材料中感生的热量来直接加热导体本身。真空镀膜机工作时，需适当的增加环境的湿度，利于减少周围环境的悬浮固体颗粒物。山东蒸镀机品牌

真空镀膜机排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。蒸镀机系列-FS-G1-3设计

真空镀膜机有哪些类型及其原理?常见的真空镀膜设备按其工作原理可分为蒸发绕线镀膜、磁控溅射绕线镀膜和组合绕线镀膜。蒸发式卷绕膜涂覆设备根据蒸发过程可分为连续、半连续和间歇三种，因设备结构的不同也可分为：单室、双室和多室卷绕膜涂覆设备。主要用于塑料、布、纸、钢带等带材表面的真空蒸发膜，作为食品金属化包装材料、反光材料、保温材料、表面装饰材料、电气材料及各种标志、标签、商标等装饰材料。应用于包装、装饰、印刷、纺织、食品、防伪、卷烟、电子行业等领域。磁控溅射绕线镀膜机工作原理及特点：采用磁控溅射(直流、中频、射频)方法在柔性基板上沉积各种金属、合金、化合物、陶瓷等材料，单层或多层镀膜。适用于柔性衬底上各种镀介质膜系统(二氧化硅、氮化硅、氧化铝、SnO2，氧化锌，Ta2O5，等等)，导电薄膜(ITO，偶氮)，基于“增大化现实”技术的电影，减少人力资源高反膜、低辐射低辐射膜、合金薄膜和金属薄膜(铝、铬、铜、铁、镍、SUS不锈钢、钛铝合金，等)主要用于：柔性线路板、ITO透明导电膜、薄膜电容、汽车/火车/船舶薄膜、薄膜太阳能电池、柔性太阳能电池FPD平板显示、柔性显示装置等。蒸镀机系列-FS-G1-3设计

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