陕西国产蒸镀机

时间:2023年03月12日 来源:

为什么真空镀膜设备要配套冷水机?冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜设备的温度,使其工作到高精度、高效率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下,自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是不稳定的。因此,可以说冷水机是设备中很重要的配套冷却设备,因为冷水机直接关系到其工作效果的好坏。这个要从真空镀膜设备的工作原理查看:膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽,结合力也很差。冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统,水温在5℃~30℃范围内调节控制,可以到高精度、高效率控制温度的目的。其冷却原理是:制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜设备进行降温,冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,起到冷却的作用。真空镀膜机进行真空镀膜一段时间后,真空室内壁要清洁处理。陕西国产蒸镀机

购买真空镀膜机应考虑哪些因素?1.炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合材料。2.根据工艺要求选择不同规格型号的涂装设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。3.夹具操作有旋转、旋转和旋转+旋转模式。用户可以根据基板的大小和形状提出相应的要求。速度范围和精度:普通可调变频调速。4.真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵及配套的气动、手动和电动阀门及管道组成。5.根据工艺要求选择电镀方法和形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)、磁控管源(同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等)、靶材和多弧源尺寸(Ф60、Ф80直径靶材、气动、引弧等),数字智能真空计及其高质量的测量程序可用于真空测量,以及自动压力控制器等其他测量仪器。膜厚可通过平方电阻计、透射计等测量。陕西国产蒸镀机真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业。

真空镀膜机镀膜技术在工业中的应用:采用真空镀膜技术代替传统的电镀技术,不仅可以节省大量的薄膜材料,降低能源消耗,而且可以消除湿法镀膜对环境的污染。因此,国外已采用真空镀膜工艺代替电镀工艺。在冶金工业中,对钢和带钢添加渗铝保护层是很常见的。在机械制造中,真空镀膜技术改变了一定的加工工艺,节省了宝贵的原材料,如飞机涡轮发动机叶片没有昂贵的高温金属制造,而是使用廉价的材料,成型后再采用真空镀膜的方法在叶片表面涂上耐高温、耐腐蚀的保护层。例如,在汽车制造行业,使用塑料制品的金属化零件代替各种金属零件,这样不仅减轻了汽车的重量,而且节省了燃料的消耗。在金属刀具上添加TiN硬膜可使刀具寿命提高3~6倍,从而节省大量高速钢。塑料薄膜采用真空镀膜和镀铝等金属薄膜的方法,然后染色,可用于工业装饰薄膜。

真空镀膜机基本技术要求如下:1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持稳定。真空镀膜机在真空密封的腔体内成膜,几乎无任何环境污染问题,有利于环保。

蒸镀机的操作步骤:1.将要蒸发的基底材料洗干净放在蒸发头下面的基板上。2.将要蒸发的金属用镊子团成球形放入钨篮中。3.将蒸发头装在仪器盖上,插好电线,打开仪器电源开关。将氮气钢瓶的开关旋开,使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按钮设置仪器参数。如果选择“SinglePulse”模式,其余参数不需要设置,值设置除气时间,在0~60秒内调节。5.然后按“START”键仪器开始抽真空。6.等仪器进入泵保持状态,真空度达到9×10-5mbar是,可进行下一步操作。由于铝比较容易氧化,蒸铝时至少要在泵保持进行30分钟之后才能进行下一步操作。7.按“START”键。8.按“△”键仪器开始除气。主要除去要蒸发的金属材料表面的一些污垢等。操作时要小心的向右旋下面的黑色按钮,当“Current”显示为8是就要通知旋动,稍等片刻钨篮就会发红,开始除气。除气持续10秒左右然后就将旋钮向左旋到底。9.然后按“▽”键仪器进入蒸发状态。10.蒸镀完毕后,按“STOP”键,停止抽真空,然后打开盖子取出样品,关闭主机电源盒气源。真空镀膜机不像化学电镀会用重金属溶液和酸溶液进行镀膜。陕西国产蒸镀机

真空镀膜机若有灰尘,将会影响真空镀膜的效果和质量。陕西国产蒸镀机

真空镀膜机扩散泵维修与保养:1、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用清水进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。2、待水分挥发干以后装好泵芯,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。3、在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好真空室门,数分钟后,观察真空度是否6*10的0帕,否则要进行检漏,检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。陕西国产蒸镀机

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