云南国产真空蒸镀机

真空镀膜设备维修保养又有什么技巧呢？1、当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，需更换新油。方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。2、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。真空镀膜机的油要定期更换。云南国产真空蒸镀机

真空镀膜应用属于一种干式镀膜，它的主要方法包括以下几种：1、真空蒸镀，其原理是在真空条件下，用蒸发器加热带蒸发物质，使其气化或升华，蒸发离子流直接射向基片，并在基片上沉积析出固态薄膜的技术。2、溅射镀膜，溅射镀膜是真空条件下，在阴极接上2000V高压电，激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基片上形成膜层。3、离子镀膜，即干式螺杆真空泵厂家已经介绍过的真空离子镀膜。它是在上面两种真空镀膜技术基础上发展而来的，因此兼有两者的工艺特点。在真空条件下，利用气体放电使工作气体或被蒸发物质（膜材）部分离化，并在离子轰击下，将蒸发物或其反应物沉积在基片表面。在膜的形成过程中，基片始终受到高能粒子的轰击，十分清洁。云南国产真空蒸镀机真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。

真空镀膜机镀膜前的清洗：紫外线辐照清洗，利用紫外辐照来分解表面上的碳氢化合物。例如，在空气中照射15h就可产生清洁的玻璃表面。如果把适当预清洗的表面放在一个产生臭氧的紫外线源中。要不了几分钟就可以形成清洁表面（工艺清洁）。这表明臭氧的存在增加了清洁速率。其清洗机理是：在紫外线照射下，污物分子受激并离解，而臭氧的生成和存在产生高活性的原子态氧。受激的污物分子和由污物离解产生的自由基与原子态氧作用。形成较简单易挥发分子。如H203、CO2和N2，其反应速率随温度的增加而增加。

真空镀膜机的保养：每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用氢氧化钠（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。真空镀膜机过程的清洁度是影响真空镀膜附着力的主要指标之一。

真空镀膜机各部件的组成及其工作原理：一、真空主体——真空室根据加工产品的要求差异，大小也不一。目前应用较广的真空室有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。燃烧室由不锈钢制成，不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀，用于连接各种泵。二、辅助抽气系统：排气系统是真空镀膜机的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0*10-2pa的低真空状态，为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提，然后在扩散泵的真空室抽吸时，机械泵与油扩散泵串联，完成抽吸作用。真空镀膜设备使用的源材料要符合纯度要求。云南国产真空蒸镀机

降低真空镀膜设备室内空气流动性低、需尽量减小室外灰尘侵入。云南国产真空蒸镀机

为什么真空镀膜设备要配套冷水机？冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜设备的温度，使其工作到高精度、高效率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下，自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是不稳定的。因此，可以说冷水机是设备中很重要的配套冷却设备，因为冷水机直接关系到其工作效果的好坏。这个要从真空镀膜设备的工作原理查看：膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽，结合力也很差。冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统，水温在5℃～30℃范围内调节控制，可以到高精度、高效率控制温度的目的。其冷却原理是：制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜设备进行降温，冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，起到冷却的作用。云南国产真空蒸镀机

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