西宁小型磁控溅射镀膜机
真空电镀机如何维保?安全操作注意事项:真空电镀机操作员要穿着整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋;检查电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V;检查各螺钉处连接是否牢固,电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好;所有电器的开关在零或者“关”的位置上;检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;设备中途停气时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;设备中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵;扩散泵加热时,避免身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤。镀膜机旋转部件应涂少量润滑油:应先涂少量真空泵油对旋转部件的润滑表面。西宁小型磁控溅射镀膜机
什么是真空镀膜设备?真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且较终沉积在基片表面,经历成膜过蒸发镀膜设备+所镀产品图蒸发镀膜设备+所镀产品图程,较终形成薄膜。箱式镀膜机哪家正规镀膜机溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
真空镀膜技术中的清洁处理一般涉及真空镀膜设备的结构材料、装填材料、真空零部件的清洁处理和真空镀膜设备的环境要求及真空镀膜工艺过程中基片的清洁处理问题。这些问题既是自主的,也是互相联系的。在真空镀设备的研制过程中,只有严格地清洁处理好各个零部件后,才能保证该设备的性能稳定。只有先进的真空镀膜设备才能生产出合格的镀膜产品。先进的真空镀膜设备必须安装在符合镀膜真空工艺的环境要求的实验场所,才能保证镀膜生产工艺的进行。在镀膜生产工艺中,基片表面洁净直接决定了镀膜前处理工艺过程及对基片进行清洗处理的配方,因此它决定了是否能生产出合格的键膜产品。
真空镀膜对环境的要求:加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至较小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。真空镀膜的主要特点:工艺灵活,改变品种方便。可镀单面、双面和单层、多层及混合层。
真空镀膜设备使用步骤:电控柜的操作:开水泵、气源;开总电源;开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子发生器的电源。关机顺序:关高真空表头、关分子泵。待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。到50以下时,再关维持泵。镀膜能有效防止酸雨等腐蚀性物质对车漆造成的损害。福州光学镀膜机厂
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