山西金属蒸镀设备
真空镀膜机如何选择?1、冷却水循环系统,镀膜需要配备冷却水循环系统,冷却水尽量使用去离子水,对防腐有很大的作用,尤其是真空室的焊道,一些容易生锈的零件,可以在去离子水中加入一些防腐剂,也可以防腐。2、是否需要配置低温收集器PolyCold,低温收集器可以说是锦上添花的设备,可以大幅度提高吸引速度,将真空室内的可凝缩气体吸附在冷盘管上,净化真空室内的气氛,提高膜层质量,进而提高生产效率。3、控制系统,现在很多的镀膜机都采用全自动控制,但是在自动控制中的区别还是很大的,大多数还是在半自动的状态,真正能够实现全自动控制的,一键式操作的镀膜设备还不多,而且在自动控制中是否给操作中足够的安全互锁,功能模块也是区别很大的。真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。山西金属蒸镀设备
真空镀膜机的维修方法介绍:当正在镀膜时真空度突然下降:1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈);2、坩埚被打穿(更换坩埚);3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈);4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈);5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀);6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀);7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常);8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈);9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈);10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)。安徽蒸镀机厂家真空镀膜机抽气不均会影响镀膜均匀性,基片干净很重要。
真空镀膜中常用的塑料,ABS是开始使用的,是同时符合三个条件的塑料,A表示丙烯腈,B表示丁二烯,S表示苯乙烯,塑料中含有以上三种物质的就是ABS塑料了,ABS镀上膜层后,可以很好的发挥其机械性能、抗冲击性,依靠其硬度大,耐磨损,成本不高,常常被用于代替某些金属机械零部件,也用于生产家用电器的外壳,但由于含有丁二烯,ABS不能在室外使用,否则会变色。PETP聚对苯二甲酸乙二醇醋,简称聚酯,是继ABS后又一种符合三种条件的塑料,所镀的膜层具有良好的拉伸强度,韧性大。PS聚苯乙烯可以承受100℃以下的温度,真空镀膜的适应性也好,无色无味,耐酸碱性,是一种不错的绝缘材料。
购买真空镀膜机应考虑哪些因素?1.炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合材料。2.根据工艺要求选择不同规格型号的涂装设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。3.夹具操作有旋转、旋转和旋转+旋转模式。用户可以根据基板的大小和形状提出相应的要求。速度范围和精度:普通可调变频调速。4.真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵及配套的气动、手动和电动阀门及管道组成。5.根据工艺要求选择电镀方法和形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)、磁控管源(同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等)、靶材和多弧源尺寸(Ф60、Ф80直径靶材、气动、引弧等),数字智能真空计及其高质量的测量程序可用于真空测量,以及自动压力控制器等其他测量仪器。膜厚可通过平方电阻计、透射计等测量。真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。
真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且沉积在基片表面,经历成膜过程,从而形成薄膜。真空镀膜机在真空环境中,将材料加热并镀到基片上的技术为真空蒸镀。具体而言,真空镀膜机是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,使之在工件或基片表面析出的过程。真空蒸镀中的镀层通常为铝膜,但其它镀层也可通过蒸发沉积形成。真空镀膜机中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行。安徽蒸镀机厂家
真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。山西金属蒸镀设备
真空镀膜机在镀膜的时候,需要镀层表面的化学成分保持均匀性,这主要体现在以下三个方面:1、厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看也就是1/10波长作为单位,约为100A,真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2、化学组分上的均匀性:就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。3、晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题。山西金属蒸镀设备
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