江西电子束蒸镀机
真空镀膜机的维修方法介绍:当正在镀膜时真空度突然下降:1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈);2、坩埚被打穿(更换坩埚);3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈);4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈);5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀);6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀);7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常);8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈);9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈);10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)。利用真空镀膜机可以有效的改善电镀的污染状况。江西电子束蒸镀机
真空镀膜机工作环境要求:真空镀膜设备应在真空条件下工作,因此设备应满足真空对环境的要求。真空对环境的要求一般包括真空设备对实验室(或车间)温度、空气和其他周围环境中颗粒物的要求,以及对真空或真空中零件或表面的要求。这两个方面密切相关。周围环境直接影响真空设备的正常使用;真空室或安装在真空设备中的零件是否清洁直接影响设备的性能。如果空气中含有大量水蒸气和灰尘,则在不清洁真空室的情况下,使用油封机械泵泵送很难达到预期的真空度。众所周知,油封机械泵不应泵出含有对金属有腐蚀性且对真空油有反应的颗粒粉尘的气体。水蒸气是一种可冷凝的气体。当泵出大量可凝气体时,对泵油的污染将更加严重。因此,泵的极限真空将降低,泵的泵送性能将受损。石家庄蒸镀机系列真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前,对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命。
真空镀膜机的真空室该如何设计?(一)焊接要求,根据需要,在该设备真空室的结构设计上也有所差别,常见有圆柱形、圆锥形、盒形等结构。对于我们的镀膜机真空室的焊接技术上,要求有基本五点:为了防止镀膜机的外壳变形,真空室的非气密焊接一般用间断焊。焊缝的总长度尽量短些,高度要大于真空室壳体的三分之一厚度,才能避免一些漏气的可能。焊缝要便于做真空检漏工作,尽量别在焊缝上开孔。焊缝与焊缝间别存在交叉,两缝的中心线位置间应大于10cm的距离。(二)主体材料,镀膜机真空室通常以金属轧制板材作为主要材料制作,作为真空室的主体材料要求可焊性、气密性要求比较高。对于一般的镀膜机真空室使用的主体材料通常是低碳钢、合金钢、铝和铜之类的金属或合金。而不锈钢则一般用于需要高真空、耐腐蚀的工艺的型号中。(三)封头类型,作为镀膜机真空室的一个重要零件——封头,可与筒体焊接组成一个整体。真空镀膜设备的封头形式有球形、锥形、凸形、平盖形等封头类型。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且沉积在基片表面,经历成膜过程,然后形成薄膜。真空镀膜机的焊接组件应该设计的使数量的焊缝可以在制造阶段分别测试。
真空镀膜机的维修方法介绍:长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:1、蒸发室有很多粉尘(应清冼);2、扩散泵很久未换油(应清冼换油);3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油);4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈);5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈);6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈);7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧);8、高低预阀是否密封可靠(注油)。真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。苏州小型蒸镀设备
真空镀膜机每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。江西电子束蒸镀机
真空镀膜是必须保持在真空环境下进行的才行。因此真空镀膜机若有灰尘,将会影响真空镀膜的效果和质量。但是,需要镀膜材料表面是没办法保证是完全无灰尘的,因此,为了尽量减小材料表面灰尘的前提下,真空镀膜机镀膜的时候必须要注意以下几点才行。(1)真空镀膜设备使用一段时间后,必须要对设备进行清洁维护;(2)规范操作人员及操作要求,包括穿戴专业的服装、手套、脚套等;(3)严格处理衬底材料,做到清洁干净,合乎工艺要求;(4)源材料符合必要的纯度要求;(5)保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求,环境温度湿度要求等;(6)降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。江西电子束蒸镀机
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