真空蒸镀设备采购
真空镀膜机镀塑料时抽真空时间过长主要原因就是:1、真空室有漏气现象:大家都知道,多弧离子镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的,若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置,则真空镀很长时间都不能抽得上来的;2、即使真空室没有漏气,因为塑料产品的放气量大,所以抽真空,溅控溅射镀膜机特别是高真空很难达到。而且由于塑料产品的放气,造成真空室内镀膜气体的不纯,有杂气的存在,造成镀膜产品的颜色发暗,发黄,发黑等。真空镀膜机使用的主要是塑料件,如ABS塑料电镀设备。真空蒸镀设备采购
真空镀膜机的操作注意事项:1、设备中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵;2、扩散泵加热时,避免身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤;3、工件旋转时,禁止一切作业;应待工件完全停止转动后,才可进行上下滚筒作业;4、电镀作业完成后,需要打开门时,应有作业人员扶住拉手,缓慢的将门打开,并将插销插入固定孔中;5、真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业,注意设备本身及设备运行中的安全,特别要重视安全装置的检查与使用。蒸镀机系列-FS380厂家供应真空镀膜机在重新开机前,要注意检漏工作。
真空镀膜机的保养:真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上,抽速会明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。
真空镀膜机基本技术要求如下:1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持稳定。真空镀膜机的结构焊缝不应与密封焊缝相交叉。
真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前,对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命,由于各种污染物不仅使真空体系不能获得所要求的真空度,还会影响真空部件衔接处的强度和密封性能。真空镀膜机常见的污染物有:1、油脂包含加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等;2、操作时候的手汗,吹气的时候的水汽和唾液等等;酸、碱、盐类物质清洗时的剩余物质、手汗、水中的矿物质等;还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。清洁这些污染物的意图是为了改善真空镀膜机工作稳定性,使工作能够更顺利的进行。扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为机器能运作在良好状态。半导体蒸镀机厂家供货
真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。真空蒸镀设备采购
蒸镀机的操作步骤:1.将要蒸发的基底材料洗干净放在蒸发头下面的基板上。2.将要蒸发的金属用镊子团成球形放入钨篮中。3.将蒸发头装在仪器盖上,插好电线,打开仪器电源开关。将氮气钢瓶的开关旋开,使流量控制在0.035Mpa左右。4.按“ENTER”按钮设置仪器参数。如果选择“SinglePulse”模式,其余参数不需要设置,值设置除气时间,在0~60秒内调节。5.然后按“START”键仪器开始抽真空。6.等仪器进入泵保持状态,真空度达到9×10-5mbar是,可进行下一步操作。由于铝比较容易氧化,蒸铝时至少要在泵保持进行30分钟之后才能进行下一步操作。7.按“START”键。8.按“△”键仪器开始除气。主要除去要蒸发的金属材料表面的一些污垢等。操作时要小心的向右旋下面的黑色按钮,当“Current”显示为8是就要通知旋动,稍等片刻钨篮就会发红,开始除气。除气持续10秒左右然后就将旋钮向左旋到底。9.然后按“▽”键仪器进入蒸发状态。10.蒸镀完毕后,按“STOP”键,停止抽真空,然后打开盖子取出样品,关闭主机电源盒气源。真空蒸镀设备采购
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