山东蒸发式真空镀膜机
真空镀膜机的操作注意事项:1、设备中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵;2、扩散泵加热时,避免身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤;3、工件旋转时,禁止一切作业;应待工件完全停止转动后,才可进行上下滚筒作业;4、电镀作业完成后,需要打开门时,应有作业人员扶住拉手,缓慢的将门打开,并将插销插入固定孔中;5、真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业,注意设备本身及设备运行中的安全,特别要重视安全装置的检查与使用。真空镀膜机工作时,需适当的增加环境的湿度,利于减少周围环境的悬浮固体颗粒物。山东蒸发式真空镀膜机
真空镀膜机怎么保养?1、真空镀膜机每完结200个镀膜程序以上,应清洁作业室一次。办法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液重复擦拭真空室内壁,(注意人体肌肤不能够直接触摸烧碱溶液,避免灼伤)意图是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发作反响,反响后膜层掉落,并释放出氢气。再用清水清洁真空室和用布沾汽油清洁精抽阀内的尘垢。2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)接连作业一个月(旱季折半),需更换新油。办法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵发动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,参加新油至额定量(油视镜调查)。接连运用半年以上,换油时应将油盖翻开,用布擦洁净箱内尘垢。蒸镀机系列-FS450供应公司真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业。
真空蒸镀使用的加热方式主要有:(1)电阻加热:电阻加热源是普遍使用的蒸发源,它结构简单、操作方便。典型的导电加热体材料有钨、钽、钼和碳等。导电加热体的电阻加热通常采用低电压(<10V)、大电流(几百安培)加热方式。可根据蒸发材料的性质以及蒸发源材料的浸润性加以选用。(2)电子束加热:电子束加热法的基本原理是基于由热阴极发射的电子在电场作用下,获得动能轰击到作为阳极的蒸发材料上,将其动能转化为加热材料的内能而使材料蒸发。由于聚集电子束的能量密度大,可使材料表面局部区域达到3000℃~4000℃的高温,适于蒸发高熔点金属、化合物材料和要求高蒸发速率的场合。(3)射频感应加热:感应加热是将射频电源的能量直接耦合到金属、石墨一类的导体上,其原理是利用高频电磁场在导体材料中感生的热量来直接加热导体本身。
如何处理真空镀膜机返油?1.启动电源主开关,这里需要注意的是电压和气压是否正常,另外冷却循环水势否大于1.5KG/cm2,这里需要先开冷却开关和水泵开关。2.启动扩散泵按钮时电流是否正常,以及扩散泵的下面是否有杂物,要是发现杂物要立即进行清理,正常情况下要预热一个半钟头才能进行抽真空。3.启动维持泵按钮,需要注意油和油位是否干净,皮带松紧是否合适。要是油位低于正常水平要及时进行加油。4.主泵按钮启动,在操作的时候要注意主泵有无异响和异味,油和油位是否干净,另外还需要检查马达皮带松紧是否合适,检测皮带松紧的标准是使用手压皮带下沉10—15毫米为准。5.关闭设备门进行抽真空,在进行这步操作的时候要注意粗转精抽切换是否正常,换向阀运行是否正常,以及各项参数、性能有无异常。需要做好记录,以备日后检修参考。6.充气,时间不可进行过长,正常情况下小于两分钟,同时需要注意开门和关门的时间,做好记录,一遍下回检修的时候进行参考。真空镀膜机的一个重要组成部分是采用扩散泵抽真空。
真空镀膜设备的一个重要组成部分是采用扩散泵抽真空,但大部分都是大型设备,所以相对来说成本会比较高,因此,大多数企业都会注意扩散泵的维护和保养。保养注意事项:1、扩散泵的冷却水在工作过程中要平稳,停止加热后,待泵工作液完全冷却后再关闭冷却水。2、扩散泵停止工作时,应保持泵处于真空状态,以免泵油变质。3、被泵送的气体应是干燥、无腐蚀性、无粉尘的气体。4、如果真空镀膜设备的扩散泵暂时不使用,储存时应保持真空状态,以免泵油污染和腐蚀各部件,并将冷却水套的剩余水吹干净。将室温保持在10至40摄氏度之间。扩散泵是真空镀膜机的主要部件,为机器能运作在良好状态。济南全自动蒸镀机
降低真空镀膜设备室内空气流动性低、需尽量减小室外灰尘侵入。山东蒸发式真空镀膜机
购买真空镀膜机应考虑哪些因素?1.炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合材料。2.根据工艺要求选择不同规格型号的涂装设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。3.夹具操作有旋转、旋转和旋转+旋转模式。用户可以根据基板的大小和形状提出相应的要求。速度范围和精度:普通可调变频调速。4.真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵及配套的气动、手动和电动阀门及管道组成。5.根据工艺要求选择电镀方法和形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)、磁控管源(同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等)、靶材和多弧源尺寸(Ф60、Ф80直径靶材、气动、引弧等),数字智能真空计及其高质量的测量程序可用于真空测量,以及自动压力控制器等其他测量仪器。膜厚可通过平方电阻计、透射计等测量。山东蒸发式真空镀膜机
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