上海 PH200-40-PCC10A加热板
电热恒温加热板由箱壳、微晶玻璃加热面、陶瓷纤维加热盘及高温镍镉炉丝,控制盒构成。箱壳分两种:一种为全不锈钢,另一种为较好的碳钢冲压而成。表面静电喷塑。温控采用智能型数码显示温控器,控温准确可靠。电热恒温加热板使用方便,散热均匀,坚固耐用。因其电热丝暗藏于壳体内部,不裸露外表,适用于不能直接接触明火的物品加热,保温作用。该产品用于大专院校、石油化工、医药、环保等实验室液体加热用。电热恒温加热板维护保养及注意事项:1.每次使用结束后,关掉电源开关。2.长时间不用需拔掉电源插头,并将加热板放在干燥处并套好塑料防尘罩。3.仪器在维修前必须先清理干净。4.使用说明书在使用过程中要保存好。5.加热板将不对纂改保护装置而造成的财产、人和物产生的损失负责。6.将对不遵守规定和预防措施而造成的财产,人和物造成的损失概不负责。7.将对使用不负责任,以及不按使用说明书说明操作造成的缺陷和功能障碍不负责。8.确保定期的检查维护所有的操作是否正常,包括清洁,定期检查和保证仪器使用时的安全性。 格芯的9HP延续了成熟的高性能硅锗BiCMOS技术的优势。上海 PH200-40-PCC10A加热板
如表1:表16月18日高频系统改进效果分析原始数据(°C)权利要求1.一种精确控温的高频加热装置,包括有对物件进行升温的高频机,其特征在于,还包括有监测物件温度并反馈正比电压信号的温度测控模块和接收电压信号并控制高频机输出功率的信号调理模块。2.一种利用如权利要求1所述的精确控温的高频加热装置的加热方法,其特征在于包括有如下步骤第一步,开始高频加热,高频机满负荷加热升温,温度测控模块监测物件温度,当物件温度距目标温度80120°C时,改为动态功率加热;第二步,温度测控模块根据不同温度,反馈与温度成正比的电压值,信号调理模块根据电压值的大小反比例调节高频机的功率输出,使其越接近目标温度,输出功率越小;第三步,信号调理模块动态调节高频机的功率输出,物件温度保持在目标温度值的士5°C的范围内。3.根据权利要求1所述的精确控温的高频加热装置,其特征在于所述的温度测控模块为红外线温度测控模块。全文摘要本发明涉及一种高频加热时温度控制的方法,具体涉及一种晶体管高频加热时精确控制温度的装置及方法;包括高频机、温度测控模块和信号调理模块;方法为1,开始高频机满负荷加热升温,温度测控模块监测物件温度。MSA FACTORYPA4025-WP加热板价格主要涉及一种电磁感应加热单元结构。
技术实现元素:为了化解以下三个技术疑问:一、传统加热板加热后总体变形,引致局部短路;二、为了确保加热安定传统加热板,轴对称的加热片电极在同一侧,易于时有发生短路隐患;三、传统加热板留置区分配不合理引致加热不平衡,也易于引致局部变形等疑问。为了化解上述疑问,本发明使用如下的技术方案:一种加热板,包括,数目为偶数的若干组加热片;所有加热片均为中心对称布置;每组加热片的形状均是半圆形包抄着由中心点o向外拓展;相邻两组加热片包抄的拐点彼此错开,每组加热片的自由端分别联接电源的两极。更进一步地,所有加热片中心的自由端与封闭的热环固定连接。再更进一步地,所述热环的形状是圆形。更进一步地,所述每组加热片为单独设立彼此分离,座落中心点o附近的加热片的自由端联接着相同电极。再更进一步地,所述加热片的数目是两组,包括:***加热片和第二加热片;所述***加热片的***迂回端和第二加热片的第二迂回端彼此纵横组成曲折的留置区。进一步地,所述中心点o设有热环且热环与两组加热片连结的自由端分别通过***电极和第二电极的与电源连接。与现有技术相比之下。
每组加热片的形状均是拱形包抄着由中心点o向外拓展;相邻两组加热片包抄的拐点彼此错开,每组加热片的自由端分别连结电源的两极。其中,加热片的数目可以是如图4所示为两组,包括:***加热片6和第二加热片7;所述***加热片6的***迂回端61和第二加热片7的第二迂回端71彼此纵横组成曲折的留置区8。本发明的***个实施例:如图4所示,所述每组加热片为单独设立彼此分离,座落中心点o附近的加热片的自由端连结着相同电极,***热弧片60和第二热弧片70分别与***加热片6和第二加热片7连结。在该实行例中,由于多组加热片是单独设立的,因此当加热片受热后,其自身可以具足够大的延展空间,不会影响总体的变形,从而化解了技术疑问一;而中心对称设立的多组加热片可以合理摆设加热片的电极,如图4所示,在中心对称的外边沿可以设立相同的电极,而中心点o的附近连通相同的另一个电极,这种长距离分布,可以防范电源短路,进而化解了技术疑问二。同时,为了确保加热的平稳,中心对称的加热片可以很好的通过错位,让相邻两组加热片之间的留置区8布置的更合理,而这种合理的相距可以避免图3所示的,两组加热片附近的加热片变形等,进而化解了技术疑问三。每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。
4为限位柱;5为温度传感器;6为过温保护器;7为隔热环;11为***加热区域;12为第二加热区域;13为第三加热区域;14为第四加热区域;15为第五加热区域;16为第六加热区域;17为第七加热区域。具体实施方式下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不能用来限制本发明的范围。实施例一、本实施例的晶圆加热器的结构如图1至4所示包括:加热盘1、底板2和垫柱3加热盘1第二面上设有七个加热区域,分别为***加热区域11、第二加热区域12、第三加热区域13、第四加热区域14、第五加热区域15、第六加热区域16和第七加热区域17;***加热区域11设置于中心区域,第二加热区域12和第三加热区域13设置于***加热区域11外圆周,第四加热区域14、第五加热区域15、第六加热区域16和第七加热区域17设置于第二加热区域12和第三加热区域13外圆周;每个加热区域上均设置有若干弧形凹槽,且每个加热区域内的弧形凹槽均与相邻的弧形凹槽连接,使每个加热区域内的弧形凹槽形成串联;每个加热区域内均设置有一根加热丝,加热丝嵌于弧形凹槽内;底板2与加热盘1,使加热丝固定于加热盘1上。垫柱3为peek材料,高度为,设置在加热盘1上。硅片划片方法主要有金刚石砂轮划片、激光划片。苏州PA4015加热板
固定到环形或圆形的热环5的加热片不仅可以安定加热片的间距。上海 PH200-40-PCC10A加热板
沉积掺杂硼磷的氧化层含有硼磷杂质的SiO2层,有较低的熔点,硼磷氧化层(BPSG)加热到800oC时会软化并有流动特性,可使晶圆表面初级平坦化。深处理溅镀***层金属利用光刻技术留出金属接触洞,溅镀钛+氮化钛+铝+氮化钛等多层金属膜。离子刻蚀出布线结构,并用PECVD在上面沉积一层SiO2介电质。并用SOG(spinonglass)使表面平坦,加热去除SOG中的溶剂。然后再沉积一层介电质,为沉积第二层金属作准备。(1)薄膜的沉积方法根据其用途的不同而不同,厚度通常小于1um。有绝缘膜、半导体薄膜、金属薄膜等各种各样的薄膜。薄膜的沉积法主要有利用化学反应的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理现象的PVD(physicalvapordeposition)法两大类。CVD法有外延生长法、HCVD,PECVD等。PVD有溅射法和真空蒸发法。一般而言,PVD温度低,没有毒气问题;CVD温度高,需达到1000oC以上将气体解离,来产生化学作用。PVD沉积到材料表面的附着力较CVD差一些,PVD适用于在光电产业,而半导体制程中的金属导电膜大多使用PVD来沉积,而其他绝缘膜则大多数采用要求较严谨的CVD技术。以PVD被覆硬质薄膜具有**度,耐腐蚀等特点。(2)真空蒸发法。上海 PH200-40-PCC10A加热板
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