TFT探针台维保

探针台的探针的清洗，1、毛刷清洁法：适用范围为5微米以上探针，微波探针。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。清洗方法是拿一张A4白纸，撕成细长条的形状，撕成细长的三角形形状(大概5cm高左右)。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜**视显微镜即可，放大倍数太高无法操作)，利用撕下的纸片作为毛刷，轻轻地将探针沾污物刷下。2、压针清洁法：适用范围是所有探针，灰尘比较靠近探针的情况。清洗方法是拿一张A4白纸，裁成样品台大小(或适当的尺寸)，固定于样品台上。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下，慢慢下压探针，待探针接触到白纸后，向后移动探针。多尝试几次走到探针上的灰尘脱落。3、超声清洁法：适用范围是所有探针，清洗方法是取适量的蒸馏水置于烧杯内(烧杯大小以适合用户操作为宜)，并放到超声波清洗机内。打开超声波清洗机，然后手捏住探针(注意戴丁腈手套)，将针尖放入蒸馏水内，让震动把灰尘震落，可以隔一两分钟用显微镜观察一次，直到灰尘掉落为止。将探针放到适当的位置晾干后即可使用。请注意，若清洁微波探针，须将探针放置整晚晾干。半导体探测系统是一种成熟的工具，用于测试硅晶片，裸片和开放式微芯片上的电路和器件。TFT探针台维保

高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。MOS管探针台系统探针台的探针的清洗。

    RF/mmW超高频测试探针台系统可配合市场主流扩频模块进行超高频测试l大行程高精度探针座，X-Y-Z-Theta四轴控制l显微镜可以在2英寸*2英寸*2英寸范围内移动，扩大了显微镜视场l兼容直流与高频信号l可以定制，可升级性强lFA(失效分析)**激光探针台系统失效分析实验室**（芯片去层/线路或Pad切割与熔接电性能测试验证）l激光镭射波长1064/532/355nm可选择性去除特定材料、而不损伤下层或基底l材料/器件（尤其是射频特征芯片）的IV/PIV/CV电性测试和失效分析。l**小切割线宽：355nm1um;，行程25mm，升降精度1uml卡盘，采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品l可调节显微镜快速倾仰，便于更换物镜，带自动锁定功能。l高功率白色照明光源（亮度可以无级调节）。

探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。半导体设备市场中，探针台是我国目前能实现高国产化率的设备。

低温探针台是用来无损检测样品的电性能，用于半导体、微电子、固体物理、超导等研究冷域，是研究材料的电阻率、磁电阻等各种物理特性的有力工具。稳定、可靠、方便的改变在很低的真空和温度下对器件和电路的探测。内置振动隔离，智能热管理，使用低排放的材料，先进的密封性，使该系统非常适合一系列需要更好的真空水平的应用，如石墨烯的研究，分子电子学等的，系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，可以经济快速的操作。内置的隔振小化振动符合行业标准。超稳定的微操纵满足设备探针的准确和可重复的接触。低温探针台集成系统有以下特点：1、在真空探针台下进行完整的霍尔效应测试的系统。2、支持一系列直流条件下霍尔效应测试。3、变温范围10k-400k，采用闭循环制冷机制冷，不需要消耗制冷剂。4、包含8400软件，可以做简单的系统操作、数据采集和分析。5、支持多载流子分析数据导出。按照操作方式来划分成：手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。浙江光电流测试探针台

探针台的正确配置选型。TFT探针台维保

探针台-高低温真空光电测试系统功能：用于测试半导体器件，材料，发光器件等综合性能表征系统，可测试参数包括：暗电流、光电流、光电压（光伏器件）、响应速度、光谱响应、变光强的R~P响应等。系统由光源、探针台和光电测试三部分组成，根据用户需求，三大部分可以进行定制化开发，以实现不同光谱覆盖范围、不同测试环境和不同测试功能的实现。探针台可选项： 低温/常温/高温、有背栅/无背栅、光纤导入/无光纤、有磁场/无磁场、真空/非真空 等。TFT探针台维保

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