OLED激光技术改造
掩模版激光都有哪些种类?
普通版:一般使用苏打玻璃或者石英,常见2寸到10寸,线宽一般在1um以上,主要用户接触式曝光机,转移图形与版图尺寸为1:1,实现同比例的图形转移。
Stepper版:一般使用石英版,常见为5寸和6寸版,线宽一般在500nm以上,主要用于Stepper曝光机台,转移图形与版图尺寸实际比例一般是4:1或者5:1,实现将版图图形缩小4~5倍之后投射于目的片上。
纳米压印版:一般用石英版,刻蚀其表面的金属形成沟槽和透光不透光的组合,尺寸一般需要5寸及以上,采用电子束直写的技术实现表面nm图形的转移,一般线宽在200~800nm左右,借助掩模版对光刻胶的压力、同时辅助紫外曝光,实现纳米级图形的转移。
金属掩模版:一把采用不锈钢,在不锈钢表面通过激光加工的方式,实现表面镂空的图形设计,线宽一般要20um,能够用于电子束蒸发、磁控溅射中,用于电极图形的转移。 超快激光脉冲与材料的相互作用在材料加工和微加工中有潜在的应用。OLED激光技术改造
超快激光可用于微加工多种材料:金属、聚合物、半导体、透明材料等。需选择合适的激光参数进行修改。
激光微加工系统用于力学、工程与技术科学基础学科领域的工艺试验仪器。
激光微加工系统的技术指标:测量范围径向3.0m,球测试精度±0.046mm、锥测试精度±0.052mm,激光扫描距离89~184mm、扫描精度0.05mm。
激光微加工系统的主要功能:该设备不仅具有精度测量、形位误差分析功能,而且具有激光扫描,生成被扫描件的三维点云造型功能。
上海激光规格光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。
常见、有代表性的激光应用之激光传感器:laser transducer,利用激光技术进行测量的传感器。它由激光器、激光检测器和测量电路组成。激光传感器是新型测量仪表,它的优点是能实现无接触远距离测量,速度快,精度高,量程大,抗光、电干扰能力强等。激光是标准的尺。
常见、有代表性的激光应用之激光测云仪:利用激光在大气层中的衰减来判断云层。当激光在大气层中穿越时,由于发射的能量与接收的能量之间有能量差,利用能量的衰减度与云层的水分子的含量多少来判断云层结构和距离的仪器。
常见、有代表性的激光应用之激光热处理:也称激光淬火,是一种表面改性工艺,用于增强部件的耐磨性或延长其寿命,从家用工具到汽车制造部件及重工业和运输领域的工装,均在适用范围内,尤其汽车工业中应用普遍,如缸套、曲轴、活塞环、换向器、齿轮等零部件的热处理,同时在航空航天、机床行业和其它机械行业也应用范围广。激光淬火常用于钢和铸铁材料。激光器通过受控的局部加热使金属部件上的目标区域发生固态相变,同时保证基材的冶金性能。吸收取决于材料类型、碳含量、微结构、表面条件、尺寸和几何形状,通常限于在表面层,淬火深度0.2–2.0 mm。可采用光束整形器件控制加热区域。激光微加工工艺有哪些;
光刻掩膜版层数增加,自然是成本增加,同时也带动了光刻胶、光刻、刻蚀等附带工艺材料的成本增加。因为人们实现光刻工艺提升的条件是光刻掩膜版层数的增加,就像使用一层光掩膜版曝光转移图案不够清晰那样,多曝光几次图案就更加清晰。据悉,在40nm左右的时候,转移图案的过程中,需要使用到40层左右的掩膜版,到了14nm的时候,就会使用到60层的掩膜版,而到了7nm,至少需要80层的掩膜版,每层加一层,就会带来成本的提升,可想而知,80层的光掩膜版,成本让人难以接受,成本难以控制,就难以大规模量产芯片。激光微加工形成方式;上海激光规格
超快激光脉冲微加工的明显特征是透明材料的内部微加工。OLED激光技术改造
使用超快激光脉冲的微加工技术被用于在透明材料中制造光子器件。通过在各种各样的玻璃中平移超快激光脉冲的焦点,这种技术已用在三维空间中集成光子器件,包括波导、耦合器和光栅。作为空隙形成在透明材料中的应用,已经报道了3D光学数据存储,其中空隙或纳米光栅的出现表示二进制值,而空隙的不存在表示二进制值。
超快激光玻璃微加工吸引人的应用之一是直接制造生物芯片,如微流体、光流体、微全分析系统,以执行生化样品的反应、检测、分析、分离和合成。为了在玻璃内部创建三维微流体结构,采用了两种方法,即液体辅助超快激光钻孔和超快激光辅助湿化学蚀刻。在液体辅助超快激光钻孔中超快激光3D烧蚀从与蒸馏水或其他液体接触的玻璃后表面开始。润湿液在其形成过程中渗入激光钻孔的通道中,并极大地促进了清理限制在所形成的狭窄微流体通道内的烧蚀碎屑,从而显着减轻了深钻时的碎屑堵塞问题。 OLED激光技术改造
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