LCR测试探针台

桌面探针系统之射频探针：把传统探针台的体积大、待测物规格限制等一系列缺点改进。我们把探针台的两个探针臂直接分离出来，使用磁吸开关固定在配重块上，装配我们自行研发GS/SG/GSG/GSSG和差分间距可调射频探针，高频率40GHz和67GHz（质量的阻抗控制50欧±2/100欧±2，探针的pitch可覆盖150um~1250um的范围）放在水平的桌面上进行使用、测试。可在桌面上任意活动，根据具体测试环境调节。各规格探针配合67GHz网络分析仪进行高频高速的测试。按照操作方式来划分成：手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。LCR测试探针台

光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源，用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路，其中一路为导入光通路，另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源，波长范围200nm~20000nm，中间可加入多个波片过滤，起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计，对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关，精确控制导入光的辐照时间，精度1ms，范围2ms~∞，在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像，其中一路为1倍成像，可选择第2路成像，为物镜的0.25~10倍率，通常在高低温测试系统里会用到，同一个物镜不切换，得到两个不同视野的成像。PCB探针台技术改造双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求。

    微纳探针台可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表特征：1、快速、精确、稳定微纳探针台包含4个压电三轴探针臂，每个三轴配备1个可拆卸式电学探针接口，可在毫米级尺度上进行宏观运动并实现纳米尺度上的微观运动。2、使用场景多样化微纳探针台结构紧凑，占用空间小，运动行程大，可匹配各种显微镜样品台，真空室，光学试验台等工作条件。3、完善的技术解决方案微纳探针台与尼康金相显微镜/SR-Scopel集成形成的探针台电学测量系统，为宏观行程上进行的微观尺度电学及表征测量提供了具体的解决方案。4、直观、方便微纳探针台通过手柄控制，具有多级宏观调速，脉冲运动，以及位移微调功能，宏观运动速度跨度在5um/s~2mm/s，单点脉冲步进可达300nm以下，微调运动分辨率小于1nm，在显微镜下操作更直观，方便，精细。5、高度集成微纳探针台电学测量系统，配备完善的光学显微镜模块，配备亮度调节，增益和变焦等功能，与电脑连接后，可实现图像快照，尺寸测量和标注，视频记录等常规功能。

    据恒州诚思调研统计，2021年全球半导体芯片测试探针台市场规模约亿元，2017-2021年年复合增长率CAGR约为%，预计未来将持续保持平稳增长的态势，到2028年市场规模将接近亿元，未来六年CAGR为%。本文调研和分析全球半导体芯片测试探针台发展现状及未来趋势，内容如下：（1）全球市场总体规模，分别按销量和按收入进行了统计分析，历史数据2017-2021年，预测数据2022至2028年。（2）全球市场竞争格局，全球范围内主要生产商半导体芯片测试探针台销量、收入、价格及市场份额，数据2017-2021年。（3）中国市场竞争格局，中国主要生产商半导体芯片测试探针台销量、收入、价格及市场份额，数据2017-2021年，包括国际企业及中国本土企业。（4）全球其他重点国家及地区半导体芯片测试探针台市场竞争格局，如美国、欧洲、日本、韩国、东南亚和印度等参与者及其2021年份额。（5）按产品类型和应用拆分，分析全球与国家/地区细分市场规模。（6）全球半导体芯片测试探针台生产地区及其产量、产能。（7）半导体芯片测试探针台行业产业链上游、中游及下游分析。半导体探测系统是一种成熟的工具，用于测试硅晶片，裸片和开放式微芯片上的电路和器件。 探针台是半导体、晶圆、集成电路中重要的检测设备。

    探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：1、比较大需要测几英寸的晶圆或者器件？2、探针台机械精度要求多高？3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的minipad，还是ic内部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜比较大倍率200倍）5、需要几根探针同时去点测？6、会测试到的比较大的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具）7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状夹具：100FA，同轴弹簧夹具：10PA（漏电精度：要求能测到的电流的量级）。 探针台如何来工作呢？安徽MOSFET探针台

晶圆级测试自动探针台。LCR测试探针台

手动探针台的维护和保养1.避免碰撞：在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2.仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。3.仪器的存放使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。4.工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上，比较好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭LCR测试探针台

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