成都探针台供应

时间:2023年04月06日 来源:

半导体产业快速发展,探针台市场需求攀升,新思界产业分析人士表示,探针台是半导体、晶圆、集成电路中重要的检测设备,随着全球半导体产业向中国转移,我国探针台市场需求持续攀升。当前受益于5G、人工智能等产业发展带动,半导体芯片出货量维持增长趋势,则探针台行业长期景气。在生产方面,长期以来探针台市场被日企垄断,台企在市场中具有一定影响力,而国内企业在全球中占比较小。但随着国内探针台生产技术不断革新,国产化率提升,预计未来不久将实现国产替代。探针台是半导体、晶圆、集成电路中重要的检测设备。成都探针台供应

探针台怎么选合适的配置,怎么确定精度?通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:8、是否会用到探针卡?9、光学显微镜的**小分辨率需要用到多少?10、显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?11、接驳的测试仪器接口有哪些?12、测试环境时是否会需要加热或者降温?13、对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?14、是否需要防震桌?15、若添置防震桌,是否有压缩空气?16、您的预算多少?项目计划什么时候落实采购?成都探针台供应如何维护和保养高温探针台呢?

探针台由哪些部分组成?1.样品台(载物台)载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备,重复定位精度达±50纳米,可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位,完成晶圆在量测端的极精密的检测。2.光学元件这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针前列对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。3.卡盘有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。探针台如何工作?探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。

手动探针台的使用方式:1.将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,***则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。6.确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。光电流测试探针台系统。

    探针台怎么选合适的配置,怎么确定精度?通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:1、比较大需要测几英寸的晶圆或者器件?2、探针台机械精度要求多高?3、点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的minipad,还是ic内部的metal?4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜(体式显微镜比较大倍率200倍)5、需要几根探针同时去点测?6、会测试到的比较大的电流、电压值是多少(电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具)7、漏电精度需要达到多高?是否有射频的需求?三轴管状夹具:100FA,同轴弹簧夹具:10PA(漏电精度:要求能测到的电流的量级)。 探针台与显示器一体化设计。武汉探针台维修

平面电机x-y步进工作台的维护与保养。成都探针台供应

    平面电机x-y步进工作台的维护与保养,平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中,所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象,另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命,对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面,然后用脱脂棉球蘸煤油清洗,整个过程操作要十分地细心,不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性,不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作,清理时应先通入大气以便动子移动,方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇,轻擦定子表面,然后用**工具撬起动子,方法同前,轻擦动子表面,动子的表面有若干个气孔,它是定子和动子间压缩空气的出孔,观察这此气孔的放气是否均匀,否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔。 成都探针台供应

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