安徽FINFET探针台

时间:2023年04月07日 来源:

    探针台怎么选合适的配置,怎么确定精度?通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:1、比较大需要测几英寸的晶圆或者器件?2、探针台机械精度要求多高?3、点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的minipad,还是ic内部的metal?4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜(体式显微镜比较大倍率200倍)5、需要几根探针同时去点测?6、会测试到的比较大的电流、电压值是多少(电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具)7、漏电精度需要达到多高?是否有射频的需求?三轴管状夹具:100FA,同轴弹簧夹具:10PA(漏电精度:要求能测到的电流的量级)。 各钟规格国产射频探针。安徽FINFET探针台

高温探针台作为一种高科技产品,价格昂贵,生产成本高,这需要我们在使用时格外注意,以免造成经济损失。那么,我们在使用时应该如何维护和保养高温探针台呢?1、避免碰撞在安装,操作CS探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。2、仪器的运输仪器运输时,请先拔掉电源线插头。高温探针台运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。3、仪器的存放使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。4、清洁探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。高温探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物,注意使用安全。5、停止运行停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员一定要严格按要求进行使用,以保证数据的准确和仪器的正常使用。6、工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上,比较好的是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用电源:220±10%,50~60Hz射频探针台规格尺寸高低温真空探针台的稳定性更高。

探针台操作步骤:1.将测试产品放入探针台的台盘上;2.打开显微镜光源灯(LED或光源机);3.打开背光面板光源开关;4.调整Zaxis高度对焦,使能清楚看到样品图象为OK;5.调整目镜和Zoom倍率,使影像清晰;二.点针操作步骤:1.通过移动镜头组部分找到Sample要下针的地方;2.调整针座位置,将三轴归零;3.调整针座仰角机构,使针尖位于显微镜射出光斑**上方1-2mm处;4.利用低倍镜头找到针尖,将针尖移至视野**位置并通过调整焦距使针尖达到*清晰;6.切换至高倍镜头,找到针尖;7.利用针座的X-Y-Z轴微调下针;8.量测完毕后,逆时针旋转钮针座的仰角机构的旋钮取出快速将针往上抬起,针尖即可移开针Sample;移动座平台或者显微镜相关移动机构时,请注意小心避免与镜头或被测品碰撞9.移开针座,取出背光面板光源和光源灯等电源.

探针台是半导体(包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器)行业重要的检测配备之一,其广泛应用于杂乱、高速器材的ing密电气测量,旨在保证质量及可靠性,并缩减研发时刻和器材制作工艺的本钱。探计台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测验环节,负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针触模并逐人测验。在半导体器材与集成电路制作工艺中,从单晶硅棒的制取到ZU终器材制作的完结需经过杂乱的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。低温探针台中低电流测量的注意事项有哪些?

光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源,用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路,其中一路为导入光通路,另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源,波长范围200nm~20000nm,中间可加入多个波片过滤,起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计,对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关,精确控制导入光的辐照时间,精度1ms,范围2ms~∞,在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像,其中一路为1倍成像,可选择第2路成像,为物镜的0.25~10倍率,通常在高低温测试系统里会用到,同一个物镜不切换,得到两个不同视野的成像。光电流测试探针台系统。探针台厂家供应

按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。安徽FINFET探针台

M系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑,设计精密,价格实惠,在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到运用。配合对应的仪器仪表,可以用于测试各类器件的IV/CV,PIV,光电信号等。也可以放置于手套箱内,配合特殊气氛使用。一般适用于学校和工厂小型实验室。产品优势:探针台与显示器一体化设计,大大减小了设备的占地空间具备自适应减震系统,一定程度上可防止外界震动的干扰U型平台镀镍设计,不仅增大了针座的加载空间,还提高了针座平台和针座之间的吸附力 安徽FINFET探针台

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