IGBT探针台维修

高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。探针台的正确配置选型。IGBT探针台维修

探针台应用手动探针台广泛应用于，科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ，批量不是很大的情况，大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能：搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表，量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途：以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能（如电流、电压、阻抗等）或工作状态，测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件（如IC、晶圆、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来，便于其电性测试设备（不属于本机器）对此测试、分析。安徽PIV测试探针台2022年探针台市场规模达到16亿美元。

N系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计，结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节，显微镜放大倍率高，操作方便。同时支持多种功能的升级，非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了运用。产品优势：显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量光学成像质量。卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以加载探针卡。可升级性强，比较高可升级220G高频，可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。

自动探针台是一款适合6寸、8寸、12寸晶圆的量产型全自动晶圆探针台，通过使探针卡与晶圆Pad点之间精细接触，实现完成晶圆WAT/CP测试，该设备操作简单并具有良好的机械稳定性，能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案，满足晶圆厂、封测厂、测试厂等不同客户的测试需求。经过不断的技术迭代更新，A系列全自动探针台已拥有同步国外的先进技术：低噪声、快速移动、高产能、采用缺口和晶圆ID同步识别，减少了晶圆的加载时间；低重心设计，支持高针数探针卡，探针台由哪些部分组成？

探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。高低温真空探针测试系统。安徽PCB探针台

探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器，主要用于半导体芯片的电参数检测。IGBT探针台维修

手动探针台的使用方式：1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，***则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。6.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。IGBT探针台维修

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